真空检漏仪UL3000 Fab，PLUS、ULTRA

凭借我们大获成功的最新一代UL系列智能产品，将为您的工艺设备减少维护，甚至比从前更加安全。在泄漏检测期间，您的处理设备将不会受到污染。所有泄漏都将被可靠地检测出来。维护后，一定能够通过耗时的压力上升测试。

UL3000 Fab干式氦检漏仪的设计适用于需要最高清洁度的各种应用，例如，清洁室内半导体制造设备的维护和生产。

优势

•节省时间

通过I·CAL软件算法节省时间，实现快速测量，测量范围为10-9 - 10-12 mbar l/s。

•检测效率高

I·ZERO 2.0适用于快速背景抑制。抽空和响应速度快，将泄漏工作量降至最低。

•高成本效益

采用功能强大的离子源和逆流真空系统，低使用成本。

•易于使用和集成

配备全彩高清可旋转显示屏的HMI界面，使用简便，提供直观操作指导。

应用

•半导体行业

•太阳能行业

•激光技术

•医疗技术

•以及电子器件、加速器、涂层系统、气体供应系统、显示工具、密封电子设备的泄漏检测等

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注：该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案，不可用于临床诊断或治疗等相关用途