PSM-EM-4 室温有磁探针台介绍

Adgarde 室温磁场探针台（PSM-EM-4）不仅可以完成永磁铁探针台所能完成的测试，并且可以为样品测试提供一个可变磁场，磁场较强，磁场均匀区较大。此款探针台专门为在测量过程中需要连续磁场变化的实验设计，在室温下对芯片、晶圆和器件进行非破坏测试。

      特点

      • 稳定的双位移调节系统，可以调节样品座和探针臂的位移

      • 样品座可以放置最大8英寸的晶圆样品

      • 能自动控制电磁铁的前后运动，并且能精准定位

      • 最多可安装6个探针臂

      • 探针臂采用磁铁吸附，可任意移动，并且可以三维微调操作方便，扎针精准，四个探针臂的探针可以扎到样品的任意位置。

      • 探针臂采用三同轴线缆和三同轴接头，漏电流小，在100fA以内

      • CCD最大放大倍数为180倍，最大工作距离为100mm

      • 滑台和样品座均采用真空吸附固定。

      参数和指标

      样品座

      卡盘尺寸 2/4/6/8英寸，可定制

      材质 铝合金镀金

      样品固定方式 多孔吸附

      滑台

      X-Y移动行程 X-±50mm，Y-±50mm

      移动精度 10μm

      探针臂

      固定方式：磁铁吸附

      XYZ微调移动行程：XYZ-13mm

      微调可分辨精度：10μm

      探针臂数量 可安装6个探针臂（左右各3个）

      电学线缆 三同轴线缆

      漏电流 100fA

      探针类型 直流探针

      光学系统

      显微镜放大倍数 10-180倍

      显微镜工作距离 90-100mm

      CCD相机分辨率 3800万像素

      电磁铁组件

      磁场大小 最高0.6T

      磁铁间距 30mm

      极柱直径60mm，标配一副50mm 纯铁极头

      循环水冷却

      可加选件

      • 屏蔽箱

      • 直流探针

      • 样品座

      可选联用设备

      • M81同步源和测量模块

      • M91快速霍尔测量仪

      • 155精密I/V源

      设备联用

      M91快速霍尔测量仪

      PSM-EM-4室温磁场探针台可以和M91快速霍尔测量仪配套使用，M91集成了电压表、电流源、矩阵开关、数据采集软件、欧姆接触检查软件、霍尔分析软件，可用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要的霍尔参数，探针台应用于霍尔测量，无需将线连接到样品上（在传统霍尔测量系统需要连接），也可以探测直径高达51mm的完整或者部分晶片，无需再将晶片切成块状结构。

      特点

      ■ 可实现迁移率低至10-2cm2 /Vs的测量（10-2-106 cm2 /Vs）

      ■ 测量速度是目前行业内常规霍尔的100倍

      ■ Fasthall无需磁场反转，即可实现迁移测量

      ■ 高阻选件允许测量样品阻值10mΩ-100GΩ

      ■ 支持范德堡和霍尔巴测试

      ■ 支持传统DC霍尔测量

     ■ M91包含MeasureLink MCS应用软件，操作简单，功能强大

      直接或间接测量的参数

      霍尔电压

      IV曲线测量

      电阻

      霍尔系数

      霍尔迁移率

      载流子类型/浓度/密度

      范德堡和霍尔巴结构