为何选择Renishaw inVia Raman对氧化硅进行分析？

碳化硅具有宽的带隙、高的导热性和较高的击穿场等显著的优点，而且具有化学惰性和热惰性。这些特性使其在晶体管（JFET、MOSFET、ETS）中（如高温电子器件）以及快速高压设备中具有非常广泛的应用。 

碳化硅的性能在很大程度上取决于它的晶体结构（它可以存在于多种类型）、晶体的质量以及缺陷的数量和缺陷类型。生产碳化硅原料和设备的企业需要对这些属性进行监控，以提高产量。 

控制这些参数的第一步是重复和量化地测量它们。Renishaw的拉曼系统非常适合这种情况。分析从碳化硅的拉曼谱图，可以确定晶体的形状、质量和缺陷的形貌。您可以轻松、快速和无损地完成这项工作。可以分析整个晶圆，可以二维显示表面或者三维显示表面下的信息。