JEM-2200FS 透射电子显微镜

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日本电子透射电镜TEM, 从基础到应用研究，采用zei新设计的磁转角修正系统，不但有利于获得高质量的透射图像和衍射像；而且有利于得到稳定的分析谱数......

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物镜种类*1	极高分辨率（UHR）型	高分辨率（HR）型	样品高倾斜（HT）型	样品冷却（CR）型	高衬度（HC）型
分辨率
点分辨率　晶格分辨率	0.19 nm 0.1 nm	0.23 nm 0.1 nm	0.25 nm 0.1 nm	0.27 nm 0.14 nm	0.31 nm 0.14 nm
能量分辨率	0.8 eV（零损失 FWHM）
加速电压	160 kV，200 kV*2
zei小步长　能量位移	50 V zei大3,000 V（以0.2V为步长）
电子枪
发射体	ZrO/W(100) 肖特基式
亮度	≧4×108 A／cm2 ・ sr
真空度	×10-8 Pa 级
探针电流	探针直径为１ nm ，在0.5 nA以上
稳定度
加速电压	≦1×10-6／min
物镜电流	≦1×10-6／min
过滤器电流	≦1×10-6／min
物镜
焦距	1.9 mm	2.3 mm	2.7 mm	2.8 mm	3.9 mm
球差系数	0.5 mm	1.0 mm	1.4 mm	2.0 mm	3.3 mm
色差系数	1.1 mm	1.4 mm	1.8 mm	2.1 mm	3.0 mm
zei小焦距步长	1.0 nm	1.4 nm	1.8 nm	2.0 nm	5.2 nm
束斑尺寸
TEM 模式	2 ～ 5 nm				７～30 nm
EDS 模式	0.5 ～ 2.4 nm		1.0 ～2.4 nm	-	4 ～20 nm
NBD 模式			1.0 ～2.4 nm	-	-
CBD 模式			1.0 ～2.4 nm		-
电子束衍射
衍射角(2α)	1.5 to 20 mrad or more				-
取出角	±10 °				-
倍率
MAG 模式	×2,000 ～ 1,500,000	×2,000 ～ 1,200,000	×1,500 ～ 1,000,000		×1,200 ～ 600,000
LOW MAG 模式	×50 to1,500
SA MAG 模式	×10,000 ～ 800,000	×8,000 ～ 600,000	×8,000 ～500,000		×5,000 to 400,000
能量过滤像有效视场大小	80 mm dia. on final image plane (film) when 10 eV is selected 25 mm dia. on final image plane (film) when 2 eV is selected
相机长度
选区电子衍射	150 ～ 1,500mm	200 ～ 2,000 mm		250 ～ 2,500 mm	300 ～ 3,000 mm
EELS 散射
狭缝上	1.2 μm／eV, 200 kV
zei终像平面	50 ～ 300 μm／eV, 200 kV
样品室
移动量(XY / Z)	2mm／0.2mm	2mm／0.4mm	2mm／0.4mm	2mm／0.4mm	2mm／0.4mm
倾斜角(X / Y) *3	±25°／±25°	±35°／±30°	±42°／±30°	±15°／±10°	±38°／±30°
倾斜角(X)*4	±25°	±80°	±80°	±80°	±80°
EDS*5
固体角*6	0.13 sr			-	0.09 sr
取出角	25°			-	20°