物镜种类 | 极高分辨率*1 (UHR)型 | 高分辨率*1 (HR)型 | 样品高倾斜*1 (HT)型 | 冷冻传输*1 (CR)型 | 高衬度*1 (HC)型 |
分辨率 | |||||
点分辨率 | 0.194nm | 0.23nm | 0.25nm | 0.27nm | 0.31nm |
线分辨率 | 0.14nm | 0.14nm | 0.14nm | 0.14nm | 0.14nm |
加速电压 | 80,100,120,160,200 kV | ||||
zei小步长 | 50 V | ||||
稳定度 | |||||
加速电压 | 2×10-6/min | ||||
物镜电流 | 1×10-6/min | ||||
物镜 | |||||
焦距 | 1.9 mm | 2.3 mm | 2.7 mm | 2.8 mm | 3.9 mm |
球差系数 | 0.5 mm | 1.0 mm | 1.4 mm | 2.0 mm | 3.3 mm |
色差系数 | 1.1 mm | 1.4 mm | 1.8 mm | 2.1 mm | 3.0 mm |
zei小焦距步长 | 1.0 nm | 1.5 nm | 1.8 nm | 2.0 nm | 5.2 nm |
束斑尺寸 | |||||
TEM 模式 | 20~200 nm | 1 to 5 μm | |||
EDS 模式 | 0.5 to 25 nmφ α selector | 1.0 to 25 nmφ α selector | 1.5 to 35 nmφ α selector | 2.0 to 45 nmφ α selector | 10 to 500 nm |
NBD 模式 | |||||
CBD 模式 | |||||
电子束衍射 | |||||
衍射角 (2α) | 1.5 to 20 mrad or more | - | - | ||
取出角 | ±10° | - | - | ||
倍率 | |||||
MAG | ×2,000 to 1,500,000 | ×1,500 to 1,200,000 | ×1,200 to 1,000,000 | ×1,000 to 800,000 | |
LOW MAG | ×50 to 6,000 | ×50 to 2,000 | |||
SA MAG | ×8,000 to 800,000 | ×6,000 to 600,000 | ×5,000 to 600,000 | ×5,000 to 400,000 | |
相机长度 | |||||
选区电子衍射 | 80 to 2,000 | 100 to 2,500 | 150 to 3,000 | ||
高色散衍射 | 4 to 80 | ||||
样品室 | |||||
倾斜角 X / Y*2 | ±25/±25° | ±35/±30° | ±42/±30° | ±15/±10° | ±38/±30° |
倾斜角 X*3 | ±25° | ±80° | ±80° | ±80° | ±80° |
样品移动范围 | 2 (X,Y) 0.2 (Z±0.1 mm) | 2 (X,Y) 0.4 (Z±0.2 mm) | |||
EDS(Si(Li)型检测器)*4 | |||||
固体角 (30mm2/50mm2) | 0.13sr/0.24sr | 0.13sr/0.28sr | 0.13sr/0.23sr | *5 | 0.09sr/- |
取出角 (30mm2/50mm2) | 25°/22.3° | 25°/24.1° | 25°/25° | *5 | 20°/- |
*1 : 订购时请指定物镜种类。
*2 : 需要高分辨率电子束衍射装置(选配件)。
*3 : 使用双倾样品杆时
*4 : 使用高倾斜样品台时
*5 : 能谱仪为选配件
1.点分辨率:0.19nm
2.线分辨率:0.14nm
3.加速电压:80, 100, 120, 160, 200kV
4.倾斜角:25
5.EDS:13
主要技术指标:
透射电镜主机主要技术指标:
电子枪: LaB6(六硼化镧)
点分辨率:0.23 nm
线分辨率:0.14 nm
加速电压: 200kV
束斑尺寸:1.0~25 nm
放大倍数(高倍):2000~1,500,000
放大倍数(低倍):50~6,000
倾斜角:±35°能谱仪技术指标:
能谱仪能量分辨率(MnK):优于136eV
分析元素:5B~92U
主要功能及应用
功能:透射像(明场、暗场和高分辨像)观察,选区电子衍射结构分析和纳米区域的成份分析。
主要应用于固体材料和纳米材料的内部微观结构观察与分析。
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