ZEISS蔡司LIBRA能量过滤式透射电子显微镜

LIBRA 200FE

场发射器：肖特基场发射系统

加速电压：

 在 80 kV 和 200 kV 之间可调；

 两个完整的工厂对中是标准的，默认是 120 kV 和 200 kV 

zl的库勒照明：

 三透镜聚光镜系统以得到平行和均匀的 TEM 宽视场照明而不依赖于照明强度

 根据放大倍数自动选择聚光镜光栏（AIS 模式）

 用按钮操作，快速和方便的在 TEM 和点方式之间转换

 在 TEM 和点方式中的再现性和照明条件的控制

空间分辨率

 真正对称的物镜 = 两种类型

 点分辨率：HR（高分辨率）0.24nm；HT（高倾斜）0.29nm

 信息界限：HR（高分辨率）0.14nm；HT（高倾斜）0.19nm

 STEM分辨率：HR（高分辨率）0.30nm；HT（高倾斜）0.45nm

能量分辨率：≤ 0.7 eV 

校正式OMEGA过滤器

 校正二级色差并优化三级色差 

 对中：工厂对中

 色散：1.85 μm/eV @ 200 kV

 畸变：< 1.5 %

 放大系数：1（过滤器没有放大）

 电路：4 块磁铁和 7 个多极校正器

 探测器：可选（可使用 4k x 4k 慢扫描 CCD 照相机）

 接收角：> 100 mrad @ ΔE = 10 eV 狭缝宽度和 200kV；> 150 mrad @ ΔE = 20 eV 狭缝宽度和 200kV

 透过率：190 nm² @ ΔE = 1 eV 狭缝宽度和 200kV

 等色性：< 0.5 eV 在样品上视场超过 Ø 2.5 m

样品台：

 5 轴完全优中心测角器

 倾斜角：

  α / β ± 30° / ± 30° （HR 极片）

  α / β ± 70° / ± 30° （HT 极片）

  二者都是双倾斜分析样品座

  α ± 70° （HR 极片）

  带有专用的层面样品夹

成像系统：在能量过滤器的前面和后面有两组 3 透镜投影镜

放大倍数：

 TEM 8 x ~ 1,000,000 x（对于 HR 极片）

 STEM 2,000 x ~ 5,000,000 x

 EELS 20 x ~ 315 x（谱线放大倍数）

真空系统：

 无油和分级抽空的真空系统

 具有缓冲罐的前级真空涡旋泵

 用于观察室、过滤器和气锁的涡轮分子泵

 用于镜筒的离子吸气泵

 用于发射区的两个离子吸气泵

系统控制：

 带有 Windows®  XP 的 WinTEM™图像用户界面，用鼠标、键盘和专用控制板来操作