高精度的表面化学表征:
单色化XPS 快速准确地鉴别表面元素组分、化学态及微小特征分析;结合独特的自动中和技术可对各种绝缘样品进行快速XPS 分析
高分辨的XPS 深度剖析:
小束斑XPS 配合新型离子枪,通过逐层表面剥离方法(离子刻蚀),测量样品表层元素和化合物随深度分布的信息。
高灵敏度XPS 化学态成像:
多达128 道的探测器快照式获得各个扫描点的元素 成分和化学态信息, 从而获得样品表面高灵敏度化学态图像,如浓度空间分布图、薄膜厚度图。
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X射线能谱仪(EDS)
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