1. 传感器数目： 18个

2. 传感器类型：金属氧化物传感器: P, T, LY

3. 传感器室及18个传感器配置

• Chamber CL: LY2/LG, LY2/G, LY2/AA, LY2/GH, LY2/gCTL, LY2/gCT
• Chamber A: T30/1, P10/1, P10/2, P40/1, T70/2, PA2
• Chamber B: P30/1, P40/2, P30/2, T40/2, T40/1, TA2

4. 传感器平均寿命: 3 年

5. 传感器灵敏度：ppb

6. 软件版本: Alpha_Soft Version 9.1

软件包主要功能

a)控制自动进样器HS 100

b)设置方法，采样序列，自动采集数据

c)化学计量学方法：PCA、DFA、SIMCA、PLS、SQC, etc.

d)传感器自动检测、诊断

e)传感器长期稳定，数据可移植性

f)系统管理和维护功能

g)定制报告