分辨率：

• 3.0nm (30kV, SE image) 10nm(3KV,SE image)

• 4.0nm (30kV, BSE image) 可选

放大倍数：10x~300,000x(WD=5mm)

加速电压：0.5kV~30kV

电子枪：三级自给偏压，偏压电阻可自动/手动调节，预对中发叉式钨丝阴极

透镜系统： 三级电磁透镜 2 个聚光镜，一个园锥形物镜

物镜光阑： 4 孔可变光阑，摇摆对中合轴

图像电位移和电旋转： ±50 ? (WD: 10 ㎜); 0-360°无限

样品室： 内径φ210mm ，可扩展接配EDS,BSE，WDS 等探测器

样品台及行程：

• 计算机导航五轴自动机械对中样品台

• X: 65 ㎜, Y: 40 ㎜, Z: 5~65 ㎜, T: -20°~+90°, R: 360°

zei大样品尺寸：130mm(直径) X 71mm (高度)

样品台控制方式： 自动/手动

操作系统：PCI、USB 接口的PC 机控制, 奔腾4 兼容机，Windows XP, 19  英寸彩色显示器，图形用户界面(GUI)嵌入多种图像实时分析测量工具，鼠标键盘操作

自动功能：自动聚焦，自动亮度对比度，自动消象散，自动电子束对中，自动物镜光阑合轴，自动电子枪加饱和，自动电子枪偏压，动态聚焦，倾斜补偿。

扫描模式：

• 屏幕选区模式: 320 x 240 像素

• TV 屏幕扫描模式：640 x 480 像素

• 全屏慢扫描模式: 800 x 600 像素 (3 档速度)

• 分屏扫描模式：1200 x 600 像素 (SE BSE 双信号)

• 全屏照相获取模式 1: 1280 x 960，2560 x 1920，5120 x 3840 像素

• 波形观察模式

图像格式：JPG, TIFF, BMP

语言：英语

真空系统：全自动高真空系统，样品室处真空度优于1x10-5 Torr，真空度实时显示.涡轮分子泵260 升/秒 + 旋片式机械泵100L/min

外形尺寸和重量：

• 主机: 77(W)x88(D)x150(H)㎝, 350 ㎏

• 电脑桌: 85(W)x80(D)x70(H)㎝, 10 ㎏

安装要求：电源 AC 220V, 60Hz, 2kVA

地线：独立地线1 条，小于等于100Ω

温度：15℃~30℃

湿度：小于等于70 %

交流磁场：小于等于0.3 uT

地面振动：5 um/sec Max.

门宽：900mm 或更宽