1. 分辨率 : 3.0nm @30KV ,10nm@3KV (二次电子像)
2. 放大倍数 : x10 ~ x300,000
3. 探测器: E-T型二次电子探测器
4. 加速电压 :0.5KV~30KV (3KV以内,100V/步,3KV以上 1KV/步)
5. 电子枪 : W (钨), 预对中灯丝 ,zei大发射电流 ~150?
6. 磁透镜系统 : 三级电磁透镜
7. 物镜光阑 : 4位可移动,摇摆对中
8.图像电位移: +/-50um (WD : 10mm)
9.图像电旋转:0~360°
10.样品室: 内径210mm, 具有SE,EDS,WDS,BSE等接口
11. 样品台:五轴手动机械对中样品台
行程:X (65mm), Y (40mm), R (360°), Tilt: -20°~ 90°, Z (5 ~ 65mm)
12. 样品尺寸(zei大) : 直径160mm
13. 扫描模式
选区 (320 x 240 pixel)
TV全屏扫描模式:(640 x 480pixel)
三档全屏慢扫描模式 (800 x 600 pixel)
照相模式:1280 x 960,2560 x 1920,5120 x 3840pixel
示波器扫描模式
14. 图像格式 : JPG, TIFF, BMP
15. 图像显示器: 19“ LCD Monitor
16. 自动控制功能: 电子枪饱和、电子枪对中、电子枪偏压、亮度对比度、 聚焦、消象散、动态聚焦、倾斜补偿
17. 工作距离 : 5 ~70mm
18. 真空系统 : 全自动 (真空时间: 小于5分钟)
前级真空: 旋片式机械泵
高真空 : 高效油扩散泵
19. 控制系统 : USBPCI接口计算机控制,操作系统 : Windows XP
20. 图像处理分析软件 :
长度、角度,面积等测量功能
实时图像灰度直方图显示
经销商
除厂家/中国总经销商外,我们找不到 COXEM CX-200DM 钨灯丝扫描电子显微镜 的一般经销商信息,有可能该产品在中国没有其它经销商。
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