分析性能指标
检出限：ppb级别
稳定性：<1%@2hrs
精密度：RSD<1%
光学系统
自动恒温的光学系统
中阶梯光栅二维分光系统
焦距：380nm
光栅：52.91l/mm，64度闪耀，Zerodur
入缝：50μm，100um
光学分辨率：<7pm@200nm
探测器
防溢出的科研级背照式面阵CCD
百万像素
读出噪声：2.0e-rms
动态范围：>105
气体消耗量
光学系统智能吹扫
正常分析是氩气消耗量为12L/min
重量和尺寸
尺寸：900×750×650mm
重量：约90kg
Rf电源
具有自主知识产权的自激式全固态射频电源
输出功率连续可调
频率：27.12MHz
功率：>1.6kw
功率稳定性：<0.1%
频率稳定性：<0.01%
电源要求
220VAC±10%，（50~60）Hz
功耗：整机<4.5kw
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