1.zei大扫面范围：100×100×15µm;

2.XY方向上5×5mm范围内机动的样品定位;

3.带集成电容闭环传感器的扫描器;

4.红外激光(1300nm)可以测量光敏感样品;

5.自动测量包含自动的激光和光电二极管定位以及测量参数的设定;

真正意义上的非接触式扫描模式和特别安全悬臂针尖-表面着陆程序

可扩展的数字化模块控制器。