• 266nm固态Nd:YAG激光、激光能量：9mJ/脉冲

• 输出能量：0-100%

• 稳定性：RSD 1%

• 脉冲宽度：＜5ns

• 脉冲频率：1-20HZ，Q开关控制                                  

• 烧蚀斑点：10-230μm（软件光圈控制），所有光斑均具有相同的能量密度

• 密闭、充氮保护的激光器、机械和热隔离的激光光路。稳定、可靠

• 计算机控制的60-600倍显微成像，自动变焦的数码成像

• 反射、透射照明系统，配置偏振镜系统

• 高精度X-Y-Z三维移动样品台，0.25μmμ步进分辨率

• 标配样品室：52mm(φ)×50mm(H),另外多种规格可选

• 可拆式石英样品室窗，清洗和样品维护方便、简单

• 可伸出的样品室，样品更换方便、安全

• 功能强大、操作方便的DigiLaz Ⅱ软件系统

技术参数

> 9mJ 激光能量, 266nm,<6ns 脉冲宽度 

能烧蚀诸如：高纯熔融硅、方解石、萤石等“困难”样品 

先进的“平顶”激光能量技术和均匀的高密度光束 

能量输出：0-100%可调，能量稳定性：RSD3-4% 

激光束频率：1-20Hz 

烧蚀斑点： 10mm-230mm，所有光斑均具有相同的能量密度 

配置60--600倍、计算机连续调整的显微成像系统 

< 5mm的光学分辨率 

光学变焦的数码成像，计算机自动聚焦 

不管是反射光还是透射光，亮度0-100%连续可调 

配置偏振镜系统 

标配52mm（直径）X 50mm（高）的样品室，另有多种规格可选 

高精度X-Y-Z三维移动系统，每步0.25mm的分辨率 

配置氦质子流量计 

Windows 2000、XP、NT操作系统, 同一屏幕显示激光所有状态和工作参数 

7种烧蚀模式：包括单点、多点、直线、分段直线、光栅式扫描和深度扫描等 

样品“Map”功能可观察整个样品区域，并快速导视