超短脉冲 193nm 波长

超短脉冲长度： < 4 ns

超级均质化平顶光束

>15J/cm2能量密度剥蚀所有样品

光学衰减器调节能量0-100%输出

独有的同步动态剥蚀功能，利于控制和深度剥蚀

30个快速切换光圈 3um 到 > 250um 超宽范围

<2um高分辨率视频采集系统，动态图像显示(FOV)

100mm*100mm XY方向移动距离,步进分辨率<1um

超大50 mm 的Z 轴聚焦行程,步进分辨率<0.1um

带导航技术的视频采集系统

光学系统采用 加布罗 超级减震结构

HelEx 双体积样品池设计，独家技术

所有气体密封设计，保证安全