日本电子JBX-6300FS 电子束光刻系统

产品型号：日本电子JBX-6300FS

品牌：日本电子

产品产地：日本

产品类型：进口

原制造商：日本电子/JEOL

状态：在售

厂商指导价格： 50万元[人民币]

上市时间： 2011-11-23

英文名称：Electron beam lithography system

优点：JBX-6300FS的电子光学系统在100kV的加速电压下能自动调整直径为（计算值）2.1nm的电子束，简便地描画出线宽在8nm以下（实际可达5nm）的图形。 此外，该光刻系统还实现了9nm以下的场拼接精度和套刻精度，性能比优越。 利用zei细电子束束斑（实测值直径≦2.9nm）可以描画8nm以下(实际可达5nm)极为精细的图形。