扫描探针显微镜(SPM/AFM/STM)

　　集成原子力显微镜(AFM)、摩擦力显微镜(LFM)、扫描隧道显微镜(STM)、磁力显微镜(MFM)和静电力显微镜(EFM)

　　■ 原子力显微镜具有接触、轻敲、相移成像、抬起等多种工作模式

　　■ 具有I-V曲线和力曲线等测量分析功能

　　■ 具有图形刻蚀模式和矢量扫描模式的纳米加工技术

　　■ 样品尺寸增大至直径50mm、厚度30mm

　　■ 操作简便，只需要更换探针架，即可切换于STM和AFM等模式

　　■ 主控制系统采用德州仪器(TI)32位数字信号处理器(DSP),每秒可实现高达10亿次32位运算

　　■ 主控制系统采用10M/100M快速以太网(Fast Ethernet 10/100)与计算机连接

　　■ 全数字控制,系统状态、仪器类型、扫描器和探针架参数智能识别和控制

　　■ 基于Windows XP/2000/9X的在线控制软件和后处理分析软件

　　■ 扫描图像BMP/TIFF全兼容文件格式，当前全部工作环境参数同步保存

　　■ 可连续采集、存储和重现动态过程(纳米电影)

　　■ 样品粒度和粗糙度自动分析

　　■ 针尖表征及图像重建功能(针尖形貌估计/图像重建/样品模拟扫描/用已知针尖重建图像)

　　■ 按功能模块划分的纵向插卡式结构，便于日后系统维护和升级

　　■ 可附加第二显示器和光学显微辅助系统

　　技术指标

　　• 系统功能

　　原子力显微镜(AFM)，包括接触、轻敲、相移成像(Phase Imaging)、抬起等多种工作模式

　　摩擦力显微镜(LFM)

　　扫描隧道显微镜(STM)

　　纳米加工和操纵，包括图形刻蚀模式和矢量扫描模式

　　• 分辨率

　　原子力显微镜(AFM)：横向 0.26nm, 垂直 0.1nm(以云母晶体标定)

　　扫描隧道显微镜(STM)：横向 0.13nm, 垂直 0.01nm(以石墨晶体标定)

　　• 参数性能

　　电流检测灵敏度：≤10pA 力检测灵敏度：≤5pN

　　图像分辨率：128X128,256X256,512X512,1024X1024

　　扫描角度：0～360°

　　扫描频率：0.1～100Hz

　　预置隧道电流：0.001～10nA

　　偏置电压：-10～+10V

　　• 电子控制系统

　　中央处理器：德州仪器(TI)32位数字信号处理器(DSP)，运算速度150MHz

　　20通道16-bit DAC，建立时间1.5微秒

　　20通道16-bit ADC，采样率500kHz

　　通信接口：10M/100M快速以太网(Fast Ethernet 10/100)接口

　　• 机械性能

　　样品尺寸：zei大可达直径50mm，厚度30mm

　　全自动步进电机控制进样系统：行程30mm，定位精度50nm /步

　　• 计算机系统

　　Pentium4-2.8GHz，256MB RAM，80GB HDD，CD-ROM，17”液晶显示器

　　基于Windows XP/2000/9X的在线控制软件和后处理软件