二次电子图象分辨率: | 0.8nm | 加速电压: | 0.01-30KV |
放大倍数: | 20-1000000X | 价格区间: | 400万-500万 |
仪器种类: | 场发射 |
SU8220 | SU8230 | SU8240 | ||
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二次电子分辨率*1 |
0.8 nm (Vacc 15 kV, WD=4 mm, 放大倍数 270 k×) 1.1 nm (着陆电压 1 kV, WD=1.5 mm, 放大倍数 200 k×)*2 | |||
着陆电压 | 0.01~30kV | |||
放大倍数 | 20-1,000,000×*3 | |||
样品台控制 | 5轴马达台 | 5轴马达台 |
5轴马达台 Regulus 样品台*4 | |
行程范围 | X | 0~50mm | 0~110mm | 0~110mm |
Y | 0~50mm | 0~110mm | 0~80mm | |
R | 360° | |||
Z | 1.5~30mm | 1.5~40mm | 1.5~40mm | |
T | -5~70° | |||
样品台回位精度 | - | - | ±0.5µm或以下 |
*1:使用日立高新技术样品在扫描电子显微镜图像测量zei小的粒子间隙
*2:减速模式观察
*3:基于127 mm x 95 mm底片指定的放大倍数
*4:Regulus(REGULated Ultra Stable:日立高新技术高性能样品台)是日立高新技术公司在日本和美国的注册商标。
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