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HD-2700球差校正扫描透射电子显微镜

tel: 400-6699-117 1000

日立透射电镜TEM, 专用扫描透射显微镜HD-2700,配备了与德国CEOS GmbH公司(总经理Max Haider先生)共同开发的球差校正仪,显著提高了扫描透射电子显微镜的性能,更适合高级纳米技术研究。由于球差校正系统校正了限制电子显微镜的性能的球差,使其与标准型号显微镜相比,分辨率提高了1.5倍,同时,探针电流提高了10倍。

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项目 描述
图像分辨率 w/o球差校正仪 保证 0.204 nm(当放大倍数为4,000,000时)
w球差校正仪 保证 0.144 nm(当放大倍数为7,000,000时)(标准镜头)
保证 0.136 nm(HAADF图像)
保证 0.105 nm(通过FFT)(当放大倍数为7,000,000时)(高分辨率镜头*)
放大倍数 100倍 至 10,000,000倍
加速电压 200 kV, 120 kV *
成像信号 明场扫描透射电子显微镜:相衬图像(TE图像)
暗场扫描透射电子显微镜:原子序数衬度图像(Z衬度图像)
二次电子图像(SE图像)
电子衍射*
特征X射线分析和面分布(能谱EDX分析)*
电子能量损失谱分析和面分布EELS(EV3000)*
电子光学系统 电子源 肖特基发射电子源
冷场致发射器*
照明透镜系统 2-段聚光镜镜头
球差校正仪* 六极镜头设计(标准型和高分辨型) 
扫描线圈 2-段式电磁感应线圈
原子序数衬度收集角控制 投影镜设计
电磁图像位移 ±1 µm
试片镜台 样品移动 X/Y轴 = ±1 mm, Z轴 = ±0.4 mm
样品倾斜 单轴-倾斜样品杆:±30°(标准镜头), ±18°(高分辨率镜头*)
真空系统   3个离子泵,1个TMP
极限真空 10-8 Pa(电子枪), 10-5 Pa(样品室)
图像显示 个人电脑/操作系统 PC/AT兼容, Windows® XP
监视器 19-inch液晶显示器面板
图像帧尺寸 640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素
扫描速度 快扫,慢扫(0.5至320秒/帧)
自动数据显示 记录序号,加速电压,下标尺,日期,时间

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