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日立高新SU9000超高分辨率场发射扫描电子显微镜

tel: 400-6699-117 1000

日立扫描电镜SEM, 专门为电子束敏感样品和需最大300万倍稳定观察的先进半导体器件,高分辨成像所设计。......

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项目

 技术指标

二次电子分辨率

0.4nm (加速电压30kV,放大倍率80万倍)

1.2nm (加速电压1kV,放大倍率25万倍)

STEM分辨率

0.34nm(加速电压30kV,晶格象)

观测倍率

底片输出

显示器输出

LM模式

80~10,000x

220~25,000x

HM模式

800~3,000,000x

2,200~8,000,000x

样品台

侧插式样品杆

样品移动行程

X

±4.0mm

Y

±2.0mm

Z

±0.3mm

T

±40度

标准样品台

平面样品台:5.0mm×9.5mm×3.5mmH

截面样品台:2.0mm×6.0mm×5.0mmH

专用样品台

截面样品台:2.0mm×12.0mm×6.0mmH

双倾截面样品台:0.8mm×8.5mm×3.5mmH

信号检测器

二次电子探测器

TOP 探测器(选配)

BF/DF 双STEM探测器(选配)






厂家资料

地址:北京市朝阳区东三环北路5号北京发展大厦1405室

电话:400-6699-117 转 1000

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