【技术特点】-- 日立高新SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜

该显微镜采用可变压力（VP）技术，除了具有高分辨率成像和样品物性表征特性外，还支持X 射线能谱仪， X射线波谱仪以及电子背散射衍射系统进行各种样品分析。在可变压力模式下，操作者可改变样品室的真空状态由高真空状态改为低真空状态。

• 电子枪：ZrO/W肖特基场发射电子枪

• 分辨率：1.2 nm /30 kV，3.0 nm /1 kV

• 探针电流：1pA~200nA

• 样品仓压力：10^-4Pa（高真空）, 10~300Pa（低真空）

• 样品尺寸：zei大直径150 mm×高40 mm

1.zei大200nA的探针电流，可满足EDX、WDX、EBSP、CL等应用
2.配有VP功能，可自动实现压差光阑的安装和取出
3.配有二次电子探头和背散射探头，可选配ESED
4.大型分析型样品室，可方便的安装多种分析附件
5.可装载150mm直径、40mm高样品
6.电脑控制的5轴优中心马达样品台

【技术特点对用户带来的好处】-- 日立高新SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜

【典型应用举例】-- 日立高新SU6600配有VP功能的新型热场扫描电镜