| 性能参数（300KV下） | ||
| 项目 | 描述 | |
| 灯丝 | 单晶钨(310)冷场发射灯 | |
| 加速电压 | 300KV、200KV、100KV | |
| 分辨率 | 晶格分辨率 | 0.10nm |
| 点分辨率 | 0.19nm | |
| 信息分辨率 | 0.13nm | |
| 放大倍率 | 低倍模式 | 200x~500x |
| 观测模式 | 2000x~1,500,000x |
| 图像旋转 | ≦±5°(观测模式，1,000,000以下) | |
| 样品倾斜 | ±15° | |
| 相机长度 | 300mm~3,000mm | |
| 能谱 | 立体角 | 0.15Sr |
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