| 加速电压 | 2 - 40 kV | |
|---|---|---|
| zei大束流 | 60 nA 以上 | |
| zei大束流密度 | 50A/cm2以上 | |
| SIM分辨率 | 6 nm以上 | |
| 放大倍率 | 60× - 300,000× | |
| 离子光学 | 离子源 | 镓(Ga) |
| 限束光阑 | 马达驱动为可选件 | |
| 透镜/偏转器 | 静电二级透镜/八极静电型偏转 | |
| 沉积 | 两种气源(钨和碳) | |
| 加工功能 | 盒状与矢径扫描图形加工 | |
| 图像采集 | zei大 2,000 × 2,000 像素 | |
| 真空系统 | 镜筒 | 离子泵 × 2 |
| 样品室 | 涡轮分子泵 × 1 | |
| 前级真空 | 机械泵 × 2(干泵可自选) | |
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