日立 IM4000PLUS离子研磨仪器

IM4000PLUS

IM4000PLUS

断面研磨杆

平面研磨杆

使用气体

Ar（氩）气

加速电压

0 ～ 6 kV

最大研磨速度（Si材料）

500 µm/hr*1 以上

-

最大样品尺寸

20（W）× 12（D）× 7（H）mm

Φ50 × 25（H） mm

离子束

标配

间歇照射功能

尺寸 

616（W）× 705（D）× 312（H）mm

重量 

机体48 kg＋回转泵28 kg

附冷却温度调节功能的IM4000PLUS

冷却温度调节功能

通过液氮间接冷却样品、温度设定范围：0°C ～ －100°C

选项

空气隔离

仅支持断面研磨夹持器

-

样品夹持器

FP版断面研磨夹持器

100 µm/rotate*2

-

用于加工监控的显微镜

倍率 15 × ～ 100 × 双目型、三目型（支持CCD）