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日本电子JSM-7800F 热场发射扫描电子显微镜

tel: 400-6699-117 6205

日本电子扫描电镜SEM, 超级混合式物镜(SHL),在保持极高的可操作性的同时,实现了低加速电压下的高分辨率,电子源采用浸没式(in-lens)肖......

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技术特点
【技术特点】-- 日本电子JSM-7800F 热场发射扫描电子显微镜



  • JSM-7800F 热场发射扫描电子显微镜

  • 新一代扫描电镜JSM-7800F配备了新开发的超级混合式物镜(SHL),在保持极高的可操作性的同时,实现了低加速电压下的高分辨率,电子源采用浸没式(in-lens)肖特基场发射电子枪,因而能以大束流电流进行稳定的分析。

  • 新一代场发射扫描电镜JSM-7800F配备了新开发的超级混合式物镜(SHL),在保持极高的可操作性的同时,实现了低加速电压下的高分辨率,电子源采用浸没式(in-lens)肖特基场发射电子枪,因而能以大束流电流进行稳定的分析。

  • 通过超级混合式物镜(SHL)进行高分辨率观察

  • JSM-7800F的物镜采用的是静电场和静磁场叠加的超级混合式物镜(SHL),由于减少了色差及球差,极大地提高了低加速电压下的分辨率。此外,SHL不会对样品形成磁场影响,因此观察磁性材料的样品和进行EBSD测试可以不受制约。

  • 低加速电压下的能量选择

  • 能量过滤器位于高位检测器 (UED)的正下方,可以选择能量。即使在低加速电压下,也能够精确地选择二次电子和背散射电子,因而可以通过低加速电压下的背散射电子像观察样品的浅表面。

  • 通过Gentle Beam (即柔和光束GB模式)观察样品的浅表面

  • 给样品加以偏压(GB),对入射电子有减速、对释放出的电子有加速作用。即使入射电子束到达样品时的能量很低,也可以获得高分辨率、高信噪比的图像。如果利用能施加更高偏压的GB模式,用几十电子伏能量的入射电子束,就可以进行更高分辨率的观察。

  • 通过多个检测器获取样品的所有信息

  • JSM-7800F配有四种检测器:高位检测器(UED) 、高位二次电子检测器(USD)、背散射电子检测器(BED)和低位检测器(LED)。UED过滤器的电压不同,二次电子和背散射电子的数量会改变,因此可以选择电子的能量,USD检测被过滤器弹回的低能量电子,BED通过检测低角度的背散射电子,能清楚地观察通道衬度。利用LED的照明效果能够获得含有形貌信息的、富有立体感的图像。

  • 应用实例

  • 低加速电压下的观察

  • 利用JSM-7800F的GB模式,到达样品的能量从10 eV开始就可以观察。下面将到达样品的能量设定为80 eV进行实例观察:一个碳原子厚度的石墨薄片的表面

    • 002.jpg


    • 样品: 石墨烯 到达能量80eV


    • 能量选择

    • UED和USD能同时获取背散射电子像(左图)和二次电子像(右图),因此可以精确地解释图像。二次电子像主要反映形貌信息,金颗粒和TiO2的衬度没有明显不同,而背散射电子像中原子序数高的金颗粒则显得明亮。


    • 背散射电子像
    • 003.jpg

    • 二次电子像
    • 004.jpg

    • 样品: 金负载型TiO2催化剂(2kV)g


    • 利用GBSH观察
      利用GBSH对样品施加高偏压,像差将会减小,图像的高分辨率会更高。能清楚地观察到介孔二氧化硅里中的微孔(下图)。

    • 005.jpg


    • 样品:介孔二氧化硅 到达样品的能量: 1keV



    • 观察磁性材料样品
      SHL物镜能抑制磁场的泄漏,因此即便是磁性材料的样品,也可以用极低的入射电子能量很容易地进行高分辨率观察 。

    • 010.jpg


    • 样品: 磁铁矿纳米颗粒 到达样品的能量: 1keV




    • 磁性样品的EBSD测试
      SHL没有磁场泄漏的影响,也很适合于EBSD。象下图所示那样,通过反极图能准确地确定晶体的取向。


    • 006.jpg

    •                          

    • 分析点数: 118585


    • 尺寸: Xzei大: 80.00微米, Y zei大: 79.89微米,步长: 0.25微米, 相: Nd2Fe14B 


    • 007.jpg

    •                          

    • 从样品中获得的EBSD花样实例( 在任意点上获取)

    •  ND                    TD                    RD

    • 008.jpg

    • 009.jpg











【技术特点对用户带来的好处】-- 日本电子JSM-7800F 热场发射扫描电子显微镜


【典型应用举例】-- 日本电子JSM-7800F 热场发射扫描电子显微镜

【产品所获奖项】-- 日本电子JSM-7800F 热场发射扫描电子显微镜






2011年7月26日,日本电子株式会社全球又同步推出一款超高分辨率的热长发射扫描电镜JSM-7800F。它的分辨率可达 0.8nm (15kV), 1.2nm (1kV)。稳定的大电流可实现高速精准的成分分析,且应用面极广。
    在中国从推出之日起一年内为推广期,价格优惠。








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