日本电子JSM-7100F 场发射扫描电子显微镜

JSM-7100F肖特基场发射扫描电镜采用通用性强的out-lens式物镜和High Power Optics（高性能电子光学系统），操作非常方便。基于用户友好的SEM可以和具有多种特性的附件组合，如低加速电压下高分辨率的观察和分析、异种信号的同时观察 （TTLS系统）、低真空模式（LV系统）下的观察和分析、用大视场观察和分析（LDF系统）等，可以满足每个用户的个性化需求。由于在样品附近没有磁场泄漏，对磁性材料样品的高分辨率观察和EBSD测试非常有效，是一款对所有材料的形貌观察及各种分析能发挥威力的多功能扫描电镜。安装选配件TTL能获得更多的样品信息。此外，配合使用Gentle Beam （GB模式即柔和光束），以数百电子伏的极低能量可以观察样品的浅表面。

通用性强的肖特基场发射扫描电镜

JSM-7100F场发射扫描电镜，配备了长寿命、能获得稳定的照射电子的浸没式（in-lens）肖特基场发射电子枪以及在样品附近不泄漏磁场的out-lens式物镜。操作与通用型扫描电镜（W-SEM）相似，因此即使是FESEM初学者使用起来也很方便。
 

根据用户需求定制的场发射扫描电镜

由于是通用性很强的FESEM，因而有各种选配件可用：
根据客户要求，通过选择适当的附件组合可以为用户提供满足个性化需求的装置。

• TTLS・・・是在低加速电压下利用Gentle Beam （GB模式即柔和光束）能进行高分辨率观察 和信号选择的系统。此功能适合样品浅表面的成像和成份像。

• LV・・・能够在低真空下观察的功能。适合不导电样品的无喷镀观察和分析。

• LDF・・・此功能非常适合于极低倍率下的观察，景深变得很大，能获取低倍率下无畸变的图像。低倍率下的EBSD测试等也非常方便。

• Analysis・・・能安装EDS、WDS、EBSD等各种分析装置。

应用实例

• 应用1　7100F的高倍率观察
  FESEM可以进行场发射扫描电镜特有的高倍率观察。下面是磁性材料样品的二次电子像观察实例。
  观察倍率为1万倍（左面的图像）和5万倍（右面的图像）。在右面的图像中可以确认到50nm左右宽的台阶结构。
  此外，还确认到图像上有10nm大小的附着物。象这样数万倍左右的观察JSM-7100F能很容易地进行。
  此外，7100F配有out-lens型物镜，因此，观察磁性材料样品不受制约。

  <磁性材料样品的观察实例> 样品: 铁素体

• 应用2　7100F的选配功能
  在500V加速电压下获得的介孔二氧化硅的SEM像。
  能清楚地观察到宽10nm左右的多孔结构。通过TTLS对样品施加偏压，分辨率会更高，可以进行高倍率的观察 。

  <利用TTLS观察表面形貌的实例> 样品: 介孔二氧化硅

  
  下面的图像是加速电压为5kV（左图）和500V（右图）时的背散射电子像。
  500V时能获得样品浅表面的成份信息，这说明TTLS系统在低加速电压下能获得背散射电子像。

  <利用TTL在低加速电压下观察成份衬度> 样品: ZnS粉末

  
  低真空（LV）模式（左图）和高真空模式（右图）的二次电子像。
  加速电压皆为5ｋV。低真空模式通过降低真空度能获取没有荷电影响的图像。LV模式适合于不导电样品的观察及EDS分析。

  <利用LV观察不导电样品的实例> 样品: 滤纸

  
  利用LDF系统能获得大景深，适合于观察有一定高度或厚度的样品。
  左图是钻头刀刃的SEM像观察实例，是从侧面观察到的螺旋形切削刃。
  此外，即使需要将样品倾斜到70度的EBSD衍射分析，也可以在大区域上聚焦。

  加速电压: 15.0ｋV, LDF模式                                    样品高出样品架顶面1cm以上 <利用LDF系统观察有一定高度的样品> 样品: 钻头

   

  <利用LDF系统进行大区域的EBSD分析实例> 样品: 用于太阳能电池的多晶硅基板

• 应用3　7100F的分析功能
  EDS是通过探测特征ｘ射线的能量确定样品组成元素的分析仪器。
  上图为镀锌板的EDS元素面分布图，用低加速电压进行分析，电子束在样品内部的散射区域可以保持得比较小。
  因此能观察约60nm厚的Al层。
  此外，由于能获得稳定的大电流，因而可以在短时间内测试。

  样品: 镀锌钢板的EDS分析