主机
| LSM 部分 | 光源、检出系统 | 光源：405 nm 半导体激光 检出系统：光电倍增管 | |
|---|---|---|---|
| 总倍率 | 108x ～ 17,280x | ||
| 变焦 | 光学变焦1x ～ 8x | ||
| 测量 | 平面测量 | 重复性 | 00x: 3σn-1=0.02 µm |
| 正确性 | 测量值的±2%以内 | ||
| 高度测量 | 方式 | 物镜转换器上下驱动方式 | |
| 行程 | 10 mm | ||
| 内置比例尺 | 0.8 nm | ||
| 移动分辨率 | 10 nm | ||
| 显示分辨率 | 1 nm | ||
| 重复性 | 50x: σn-1=0.012 μm | ||
| 正确性 | 0.2 ＋ L/100 μm 以下（L＝测量长度μm） | ||
| 彩色观察部分 | 光源、检查系统 | 光源：白色LED， 检查系统：1/1.8 英寸200 万像素单片CCD | |
| 变焦 | 数码变焦1x ～ 8x | ||
| 物镜转换器 | 6 孔电动物镜转换器 | ||
| 微分干涉单元 | 微分干涉滑片：U-DICR， 内置偏振光片单元 | ||
| 物镜 | 明视场平面半消色差透镜5x、10x LEXT 专用平面复消色差透镜20x、50x、100x | ||
| Z 对焦部分行程 | 100 mm | ||
| XY 载物台 | 100×100 mm（电动载物台）， 选件: 300×300 mm（电动载物台） |
此设备为专为在工业环境下实施检测设计的A 类设备。如在住宅区内使用可能会干扰其他设备。
物镜
| 型号 | 倍率 | 视场 | 工作距离（WD） | 数值孔径（N/A） |
| MPLFLN5X | 108x-864x | 2,560-320 μm | 20.0 mm | 0.15 |
| MPLFLN10X | 216x-1,728x | 1,280-160 μm | 11.0 mm | 0.30 |
| MPLAPON20XLEXT | 432x-3,456x | 640-80 μm | 1.0 mm | 0.60 |
| MPLAPON50XLEXT | 1,080x-8,640x | 256-32 μm | 0.35 mm | 0.95 |
| MPLAPON100XLEXT | 2,160x-17,280x | 128-16 μm | 0.35 mm | 0.95 |
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经销商
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