射频发生器 | |
电路类型 | 固态器件、他激式 |
工作频率 | 27.12MHz |
输出功率 | 600W-1200W |
输出功率稳定性 | <0.1% |
光学系统 | |
光路类型 | Czerny-Turner |
焦距 | 750mm |
光栅 | 离子刻蚀全息光栅,3600line/mm, 刻线面积(80*110)mm2 |
出射、入射狭缝 | 20μm |
测光装置 | |
工作电压 | -(200-1000)V |
电流测量范围 | 10-4-10-9A |
稳定性 | <0.05% |
信号采集方式 | V/F转换 |
进样装置 | |
炬管工作线圈 | 内径φ22mm,3T |
炬管工作线圈 | 三同心型石英炬管,外径φ20mm |
雾化器 | 同心型Meinhard式雾化器,外径φ6mm |
雾室 | 特制高效型 |
氩气流量计规格 | |
a)等离子气 | (100-1000)L/h |
b)辅助气 | (6-60)L/h |
c)载气 | (0-5)L/min |
氩气稳压值 | 0.25MPa |
整机技术指标 | |
测量波长范围 | (180-500)nm |
分辨率 | ≤0.012nm |
测量重复性 | RSD≤1.0% |
测量稳定性 | RSD≤2.0% |
代表元素检出下限 | ppb级 |
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