X射线异物分析装置 EA8000

EA8000是，与X射线、CT、X光照相同原理通过X射线透射图像捕捉样品中的金属异物，再通过荧光X射线分析使元素清晰化的异物分析装置。所谓的荧光X射线分析，是指通过将元素分布作为2次元图像而获得的扫描分析，查明金属异物的元素。EA8000在收货检查、进度检查等不良分析现场进行异物或涂抹不均、结构不均等的检查时，协助提高信赖性、成品率。

1. 可在几分钟内对250×200 mm的样品检测出20 µm的金属异物

例如要检测250×200 mm(约B5尺寸)的电池电极板中20 µm的金属异物，以往的X射线透视检查仪需要十小时左右的摄像时间。株式会社日立高新技术科学通过新型X射线透视方法的开发，成功缩短了时间。检测速度成功达到了以往的100倍以上，可在3～10分钟内完成。

図1 约Φ20µm的金属异物

2. 通过图像处理自动检测出异物

针对快速拍摄的250×200 mm的X射线投射图的整面进行快速图像处理，自动检测出异物点。

3. 对于检测出的异物点进行自动元素分析

只针对自动检测出的 异物点进行X射线荧光扫描，自动分析元素。

4. 电极板中的微小金属元素也可进行元素识别

对于样品中检测出来的金属异物，自动通过X射线荧光法进行元素识别。例如，以往在检测电极板中可能存在的20 µm左右的微小金属异物，只能分析存在于样品表面的异物。这是由于存在于内部时，由异物产生的荧光X射线会被基材所吸收，信号强度非常微弱。EA8000通过独自研发的高能量X射线光学系统，可对电极、有机薄膜内部所含的20 µm大小的微小金属异物进行元素分析。

5. 一体化操作，提高工作效率

与以往的技术相比，金属异物的检测速度、元素分析速度大幅提高，并且把显微镜等都组合在一台仪器内，各个系统联动可全自动输出测量结果。因此，操作人员只需放置好样品，即可获得测量结果，大大提升了作业效率。