JSM-IT510系列有下面4种配置
| BU（基本单元） | 基本类型， 高真空条件下观察 |
| A（分析型） | 分析型，标配EDS能谱 |
| LV（低真空型） | 低真空型，适用于高、低真空操作，配置BED |
| LA（低真空分析型） | 低真空分析型，适用于高、低真空操作，配置BED和EDS |
SEM规格
| 分辨率 | 高真空模式：3.0nm（30kV），15.0nm（1.0kV）；低真空模式：4.0nm（30kV、BED） |
| 放大倍数 | x5 至 x300，000 |
| 电子枪 | 钨灯丝，全自动电子枪调准 |
| 加速电压 | 0.3kV~ 30kV |
| LV压力调节 | 10~650Pa |
| 物镜光阑 | 4档，带XY微调功能 |
| 自动功能 | 灯丝饱和点调整、电子枪合轴调整、电子束对中调整、聚焦/散光/亮度/衬度调整 |
| 最大样品尺寸 | 200mm直径 x 75mm高 |
| 样品台 | 大型全对中样品台 X: 125mm Y：100mm Z：80mm 倾斜：-10~90o 旋转：360o |
| 图像模式 | 二次电子像、REF像、成分像、形貌像、阴影像 |
| 图像尺寸 | 640 x 640、1280 x 960、 2560 x 1920、 5120 x 3840 |
| 照片辅助功能 | 蒙太奇、简单SEM、Zeromag、实时3D |
| 操作支持功能 | 菜单（标准菜单/自定义菜单），测量、样品交换导航、信号深度功能、3D测量* |
| 操作系统 | Win10 64位 |
| 显示器 | 23.8英寸触控面板 |
| 语言切换 | 日语、英语、中文（可在用户界面上操作） |
| 真空系统 | 全自动、TMP、RP |
主要可选项
1. 背散射电子探测器BED
2. 低真空混合二次电子探测器LHSED
3. 低真空二次电子检测器LVSED
4. 能谱仪EDS
5. 波谱仪WDS
6. 电子背散射衍射图样EBSD
7. 真空预抽室LLC
8. 样品台导航系统SNS
9. 大区域样品台导航系统SNSLS
10. 样品室相机CS
11. 操作面板OP2
12. LaB6电子枪
13. 3D分析软件SVM
主要技术指标
分辨率 高真空模式 | 3.0 nm (30 kV) 15.0 nm (1.0 kV) |
低真空模式*1 | 4.0 nm (30 kV BED) |
图像倍率 | ×5～×300,000 |
显示倍率 | ×14～×839,724 |
电子枪 | 钨灯丝 电子枪完全自动合轴 |
加速电压 | 0.3kV～30kV |
低真空压力设定范围※1 | 10～650Pa |
物镜光阑 | ３档 带有ＸＹ微调功能 |
自动功能 | 灯丝调整、电子枪合轴调整，聚焦、像散、衬度/亮度调整 |
zei大样品尺寸 | 200 mm直径×75 mm高度 |
样品台 | 大型全对中式 |
图像无缝拼接功能 | 标配 |
显示测试位置座标 | 直径203 mm |
标准菜谱 | 有（包括EDS条件 ※2） |
图像模式 | 二次电子像、REF像、成份像*1、形貌像*1、阴影像*1等 |
获取图像的像素数 | 640x480 1,280x960 |
OS | Microsoft®Windows®10 64bit |
显示器 | 23寸触摸屏 |
EDS 功能*2 | 谱图分析、定性分析/定量分析、线分析（水平线分析、任意方向线分析）元素面分布、电子束追踪等 |
测长功能 | 有（两点间距离、平行线间距离、角度、直径等） |
数据管理功能 | SMILE VIEW™ Lab |
生成报告功能 | SMILE VIEW™ Lab |
语言切换 | 可以在UI 上（日语/ 英语） |
抽真空系统 | 完全自动 TMP：1 台、RP：1台或2台※1 |
备注：Windows10 为美国微软公司在美国及其它国家的注册商标或商标
主要选配件
背散射电子检测器（BED) ※1
低真空二次电子检测器（LSED)能谱仪(EDS)※2
波谱仪（WDS）
电子背散射衍射检测器(EBSD)
加载互锁真空室（预抽室）
样品台导航系统（SNS）
样品室观察系统(CS)
操作面板
3D测量软件操作台
※1 为JSM-IT500LV/LA的标配功能。
※2 为JSM-IT500LV/LA的标配功能。
JSM-IT500系列可有4种配置：BU（基本单元）/ A（分析）/ LV（低真空）/ LA（低真空和分析）
分辨率：HV模式：3.0nm（30kV）15.0nm（1.0kV）；LV模式：4.0nm（30kV具有背散射电子图像）
直接放大倍数：x 5到x 300,000（用显示尺寸128mm×96mm定义）
显示放大倍数：x 14到x 839,724（用显示器尺寸358mm×269mm定义）
电子枪：钨（W）灯丝
加速电压：0.3 kV至30 kV
探头电流：1 pA至1μA
LV压力调节：10〜650Pa
自动功能：灯丝调节，枪对准，焦点/标记/亮度/对比度
zei大试样尺寸：200 mm直径，90 mm高度
样品台大型中心型：X：125mm Y：100mm Z：80mm倾斜：-10°至90°旋转：360°
标准配方内置（包括EDS条件）
图像模式二次电子图像，REF图像，
组成图像，地形图像，立体显微图像
EDS功能：光谱分析，定性和定量分析，线分析（水平线，特定方向线），元素映射，探测跟踪
| Resolution | High vacuum mode: 3.0 nm (30 kV) 15.0 nm (1.0 kV) |
| Low vacuum mode※1: 4.0 nm (30 kV BED) | |
| Direct magnification | x 5 to x 300,000 (Defined with a display size of 128 mm x 96 mm) |
| Displayed magnification | × 14 to × 839,724 (on the monitor) (Defied with a display size of 358 mm x 269 mm) |
| Electron gun | W filament, Fully automatic gun alignment |
| Accelerating voltage | 0.3 kV to 30kV |
| Probe current | 1 pA to 1 μA |
| Low-vacuum pressure adjustment※1 | 10 to 650Pa |
| Objective lens aperture | 3-stage, with XY fine adjustment function |
| Automatic functions | Filament adjustment, Gun alignment, Focus / Stigmator / Brightness / Contrast |
| Maximum specimen size | 200 mm dia. x 75 mm height 200 mm dia. x 80 mm height ※Option 32 mm dia. x 90 mm height ※Option |
| Specimen stage | Large eucentric type X: 125 mm, Y: 100 mm, Z: 80 mm Tilt: －10° to 90° Rotation: 360° |
| Montage function | Built-in |
| Measurement-position coordinate display | 203 mm dia. |
| Standard recipes | Built-in (includes EDS functions ※2) |
| Image mode | Secondary electron image, REF image, Composition image, ※1 Topographic image,※1 Stereo-microscopic image, ※1 etc. |
| Pixels for image acquisition | 640 x 480 1,280 x 960 2,560 x 1920 5,120 x 3,840 |
| OS | Microsoft® Windows®10 64 bit |
| Observation monitor | 23-inch touch panel |
| EDS functions ※2 | Spectral analysis, Qualitative & Quantitative analysis, Line analysis (horizontal line, specific direction line), Elemental mapping, Probe tracking, etc. |
| Measurement functions | Built-in (distance between 2 points, distance between parallel lines, angle, diameter, etc.) |
| Data management function | SMILE VIEW™ Lab |
| Report generation function | SMILE VIEW™ Lab |
| Language switch | Operable on UI (English / Japanese) |
| Vacuum system | Fully automatic, TMP: 1 RP: 1 or 2 ※1 |
Notices:Windows is a registered trademark of Microsoft Corporation in the United States and other countries.
Main Options
Backscattered Electron Detector (BED) ※1
Low Vacuum Secondary Electron Detector (LSED)
Energy Dispersive X-ray Spectrometer (EDS) ※2
Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer (WDS)
Electron Backscatter Diffraction Detector (EBSD)
Load Lock Chamber (pre-exchange chamber)
Stage Navigation System (SNS)
Chamber Scope (CS)
Operation Panel
3D Measurement Software
Table
※1: Standard in JSM-IT500LV/LA.
※2: Standard in JSM-IT500A/LA.
参考招标参数：
一体化分析型场发射扫描
电子显微镜（进口）1
技术参数：
一、工作条件
1.电源：能在220V±10%，50Hz，32A供电条件下连续工作，插头应符合中国国家标准，否则应提供适合仪器插头的插座；
2.环境：能在15～25℃，相对湿度小于60%环境下运行；
3.整机无需循环水、空压机及氮气。
二、设备组成
1.电子光学系统：肖特基电子枪、聚光镜系统、物镜系统；
2.样品台系统：五轴样品台、五轴马达驱动样品台；
3.探测器系统：二次电子探测器、五分割背散射电子探测器、可变焦光学导航相机；
4.真空系统：机械泵*1、分子泵*1、离子泵*2、真空规；
5.不小于23英寸触摸显示器及计算机；
6.全自动离子溅射仪（包含白金靶1块）。
三、技术参数
1.分辨率
1.1 高真空模式分辨率：≤1.5nm(30KV)，4nm(1KV)【Edge法测量】；
1.2 分析模式下分辨率：≤3.0nm(15KV，束流：1nA)；
★1.3 低真空模式分辨率：≤1.8nm(15KV)；
★1.4 放大倍率5X-600,000X（128X96mm实放大倍率条件下）或14-1,680,000X（显示器放大倍率），放大倍数粗、细模式连续可调，具有随着工作距离或加速电压的变化自动精确校正、补偿、预设等功能；
★1.5 具有ZeroMag模式：可从光镜导航模式无缝切换至电镜模式，放大倍率从0倍开始；
2.电子光学系统
★2.1 电子枪：肖特基热场发射电子枪，至少保证三年寿命；
2.2 聚光镜：2级电磁透镜会聚系统，束流强度可连续可调；
★2.3 束流控制：光阑角度控制透镜控制束斑尺寸，方便、连续调节束流，无需手动切换光阑；
2.4 分析束流：不低于20nA；
2.5 样品室内零磁场，可观察磁性样品。
3.真空系统
★3.1 全自动电磁阀门，无须空气压缩机；
3.2 采用三级真空系统：机械泵、分子泵、离子泵组成，无需循环水；
★3.3低真空模式压力范围：10-150Pa；
3.4 高低真空切换通过软件在1分钟以内完成，无需拆卸压差光阑；
3.5 抽真空时间<3分钟。
4.样品室和样品台
★4.1 zei大样品直径：200mm，zei大样品高度：90mm；
★4.2 样品交换方式：大开门式，无需氮气保护；
4.3 样品台：优中心全对中样品台，具有五轴马达驱动功能；
4.4 zei大样品重量：2kg；
★4.5 样品台行程：行程X：125mm,Y：100mm,Z：80mm，倾斜-10°至+90°旋转 360°；
4.6 分析工作距离：EDS/EBSD/WDS均为10mm；
4.7 整机有不少于11个扩展接口。
5.探测器及成像系统
5.1 二次电子探测器：可形成二次电子像；
5.2 五分割背散射电子探测器：可形成成分像、形貌像和阴影像；
★5.3 样品室观察系统：可实时观察样品仓内部的情况。
6.操作系统及软件
6.1 图像测量软件：包括垂直，水平，对角，任意2点间距离，直径，2个圆中心间距离，角度，圆和多角形等，可实时测量；
★6.2 配有不小于23英寸触控显示器，通过点击显示器即可操作电镜；
6.3 win10 64位操作系统，zei大存储像素不低于5120×3840；
6.4 操作单元采用市场主流配置。
7.一体化大面积X射线能谱仪
★7.1 实时EDS模式：直接在电镜界面下显示电子束驻留位置上的元素信息，同时高亮显示未知元素；
★7.2 能谱分析系统可与原有的扫描电镜软件整合，一体化操作，可在同一屏幕和软件窗口下显示电镜图像和分析谱图，与电镜共用一个控制系统；
7.3能量分辨率：Mn-Ka优于129eV；
7.4 检测面积：晶体总探测面积不小于30mm2，有效面积不小于25mm2；
7.5 元素分析范围：Be4-U92；
7.6 探测器：硅漂移晶体，超薄窗口，完全独立真空，无需液氮；
7.7 具有电子束自动漂移补偿功能；
7.8 具有全谱分析功能；
★7.9 能谱分析工作距离：不大于10mm。
8.自动离子溅射仪
8.1 工作压力：优于20Pa；
8.2 溅射电流：10,20,30,40mA可调；
8.3 溅射靶：白金(Pt)，标配一块；
8.4 抽速：100L/min；
8.5 原装进口，与电镜主机同品牌为佳。
9.随机备件：包括标准附件及工具和消耗品1套（包括导电胶带2卷、机械泵油1L等）。
四、其他
1.随机提供一整套技术文件，包括：产品合格证、安装操作手册、使用说明、维修保养手册等；
2.安装调试：制造商提供免费的安装调试；
3.技术培训：制造商在采购人现场进行免费技术培训；
4.交货期：合同签订后6个月内。
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