JSM-IT510 InTouchScope™ 扫描电子显微镜

扫描电子显微镜 (SEM) 不仅是开展科研工作所必不可少的工具，对于需要品控的制造工厂也是不可或缺的。 在这些场景中，用户需要重复执行相同的观察操作，因此快速完成这些操作有助于提高工作效率。 JSM-IT510 新增的“简单 SEM”功能，用户可将 SEM 观察所需的“手动重复操作交给它”，从而更高效、更轻松地完成 SEM 观察。

  NEW  简单 SEM

只需选择目标视野

“简单 SEM”支持日常工作

样品：电子元件  
加速电压：15 kV，放大倍数：×50（上部） ×1,000（下部），信号： BE

   样品交换导航

从样品交换引导至自动观察   安全简单！

1. 按照导航指南设置样品

                                                                      测量样品高度

2. 准备抽真空观察

*1  样品台导航系统（SNS）是选配件

*2  大区域样品台导航系统（SNSLS）是选配件

*3  样品室相机（CS）是选配件

3. 自动开始观察

真空完成后自动成像

    Zeromag

轻松实现光学图像与SEM图像之间的无缝转换

Zeromag 功能简化了导航，提供从光学图像到 SEM 图像的无缝过渡。 

 SEM、光学图像和样品台示意图全部链接在一起，以获得分析位置的全局视图。

样品：菊石化石    加速电压：7kV   信号：BE

    实时分析/实时引导图*²

1. SEM观察的同时掌握该区域的元素组成

实时分析是一项在图像观察期间实时显示 EDS 光谱或元素图的功能。此功能支持搜索目标元素并提供警示。  

2. 简单分析

最多点击3次即可开始EDS分析

    多种高级选项

1. NEW 低真空混合二次电子探测器（LHSED）*

该新型探测器可以收集电子和光子信号，并提供具有高信噪比和增强形貌信息的图像

2. NEW  实时3D*

新多向分割BE探测器*获得的图像可以显示为实时3D图像。

即使样品具有细微的表面起伏，实时3D也可以直观的将其清晰的表现出来，并获取其深度信息。

样品：螺钉    加速电压：15kV   放大倍数：x100  信号：BE

3. 蒙太奇

蒙太奇功能可以自动获取多个小视野的图像并将这些图像拼接成一张更大视野的图像。

样品：菊石化石

加速电压：15kV    放大倍数：x150   信号：BE   视野数：13 x 13

4. 显示信号深度

此功能实时显示被测样品的分析深度（近似数值），对元素分析非常有用。

   金属

钢的结晶观察

对于金属等晶体材料，可以对晶体取向不同而引起的衬度差异进行成像。

金属断口观察

金属断口观察可以对金属断口的断裂原因进行失效分析

   半导体

光刻图案观察

在半导体制造中，SEM 对光刻的质量管理非常重要。

该过程可以通过对光刻图案的横截面成像来确认。也可以测量线宽。

印刷电路板 (PCB) 检查

SEM 是有效的 PCB 质量管理工具。

低真空条件允许直接观察 PCB，无需预处理。

    软物质/高分子材料

如果使用低真空功能，像吸水性高分子、口罩这样的非导电样品，不需要前处理也能进行观察。

可以同时获得 SE 图像和 BE 图像。

SE 图像提供样品的表面形态信息。

BE 图像显示明亮区域，表明该区域的平均原子序数较高。

    生物样品

细胞和微生物等生物样品，通过化学固定和冻干处理，可以保持其形状进行观察。

日本电子株式会社(JEOL)2021年11月8日全球同步发布钨灯丝扫描电镜升级,升级后的型号为JSM-IT510