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FEI Quanta 650 FEG环境扫描电镜

tel: 400-6699-117 8899

FEI扫描电镜SEM, ......

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1、电子光学

1)高分辨肖特基场发射电子枪

2)优化的高亮度、大束流镜筒

3)45°锥度物镜极靴,及“穿过透镜”的压差真空系统,加热式物镜光阑

4)加速电压: 200 V - 30 kV

5)束流: zei大200 nA并连续可调

6)放大倍数: 6 x  1,000,000 x (四幅图像显示)

2、分辨率

1)高真空

30 kV下0.8 nm (STEM)*

30 kV下1.0 nm (SE)

30 kV下2.5 nm (BSE)*

1 kV下3.0 nm (SE)

2)高真空下减速模式*

1 kV下3.0 nm (BSE)*

1 kV下2.3 nm (ICD)*

200 V下3.1 nm (ICD)*

3)低真空

30 kV下1.4 nm (SE)

30 kV下 2.5 nm (BSE)

3 kV下3.0 nm (SE)

4)环境真空 (ESEM)

30 kV下1.4 nm (SE)

3、检测器

1)E-T二次电子探头

2)大视场低真空气体二次电子探头 (LFD)

3)气体二次电子探头 (GSED)

4)样品室红外CCD相机

5)高灵敏度、低电压固体背散射探头*

6)气体背散射探头*

7)四分固体背散射探头*

8)闪烁体型背散射探头/CLD*

9)vCD (低电压、高衬度探头)*

10)镜筒内探头(ICD),用于减速模式下二次电子检测*

11)电子束流检测器*

12)分析型气体背散射探头 (GAD)*

13)STEM探头*

14)Nav-Cam 光学相机彩色成像,用于样品导航*

15)阴极荧光探测器*

16)能谱*

17)波谱*

18)EBSD*

19)极靴底部安装四环分隔式定向型背散射电子探头 (DBS)

4、真空系统

1)1个 250 l/s 涡轮分子泵, 2个机械泵

2)zl的“穿过透镜”的压差真空系统

3)电子束在气体区域的行程:10 mm或2 mm

4)可升级成无油机械泵

5)2个离子泵

6)样品室真空度 (高真空模式) < 6e-4 Pa

7)样品室真空度(低真空模式) < 10 to 130 Pa

8)样品室真空度(环境真空模式) < 10 to 4000 Pa

9)典型换样时间: 高真空模式≤ 150秒;低真空及环境真空模式≤ 270秒 (FEI标准测试程序)

5、样品室

1)左右内径379mm

2)10 mm分析工作距离

3)10个探测器 / 附件接口

4)EDS采集角: 35°

6、样品台

1)X/Y = 150 mm

2)Z = 65 mm

3)Z向间隙93.5mm

4)倾斜:- 5° - + 70°

5)连续旋转360°

6)重复精度: 2 μm (X/Y方向)

7)伪全对中样品台

7、图像处理器

1)zei大6144 x 4096像素

2)图像文件格式:TIFF (8,16 or 24 bit), BMP or JPEG

3)单窗口或四窗口图像显示

4)四活动窗口

5)实时或静态按彩色或按灰度等级信号混合

6)256 帧平均或积分

7)数字动画记录 (.avi格式)

8)直方图及图像测量软件

9)DCFI (漂移补偿积分)

8、支持软件

1)SmartSCAN 智能扫描技术

2)蒙太奇图像导航

3)软件温度控制

4)FEI动画生成工具





厂家资料

地址:上海市浦东新区张江高科技园区盛夏路399号8号楼

电话:400-6699-117 转 8899

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