1、电子光学
1)高分辨肖特基场发射电子枪
2)优化的高亮度、大束流镜筒
3)45°锥度物镜极靴,及“穿过透镜”的压差真空系统,加热式物镜光阑
4)加速电压: 200 V - 30 kV
5)束流: zei大200 nA并连续可调
6)放大倍数: 6 x 1,000,000 x (四幅图像显示)
2、分辨率
1)高真空
30 kV下0.8 nm (STEM)*
30 kV下1.0 nm (SE)
30 kV下2.5 nm (BSE)*
1 kV下3.0 nm (SE)
2)高真空下减速模式*
1 kV下3.0 nm (BSE)*
1 kV下2.3 nm (ICD)*
200 V下3.1 nm (ICD)*
3)低真空
30 kV下1.4 nm (SE)
30 kV下 2.5 nm (BSE)
3 kV下3.0 nm (SE)
4)环境真空 (ESEM)
30 kV下1.4 nm (SE)
3、检测器
1)E-T二次电子探头
2)大视场低真空气体二次电子探头 (LFD)
3)气体二次电子探头 (GSED)
4)样品室红外CCD相机
5)高灵敏度、低电压固体背散射探头*
6)气体背散射探头*
7)四分固体背散射探头*
8)闪烁体型背散射探头/CLD*
9)vCD (低电压、高衬度探头)*
10)镜筒内探头(ICD),用于减速模式下二次电子检测*
11)电子束流检测器*
12)分析型气体背散射探头 (GAD)*
13)STEM探头*
14)Nav-Cam 光学相机彩色成像,用于样品导航*
15)阴极荧光探测器*
16)能谱*
17)波谱*
18)EBSD*
19)极靴底部安装四环分隔式定向型背散射电子探头 (DBS)
4、真空系统
1)1个 250 l/s 涡轮分子泵, 2个机械泵
2)zl的“穿过透镜”的压差真空系统
3)电子束在气体区域的行程:10 mm或2 mm
4)可升级成无油机械泵
5)2个离子泵
6)样品室真空度 (高真空模式) < 6e-4 Pa
7)样品室真空度(低真空模式) < 10 to 130 Pa
8)样品室真空度(环境真空模式) < 10 to 4000 Pa
9)典型换样时间: 高真空模式≤ 150秒;低真空及环境真空模式≤ 270秒 (FEI标准测试程序)
5、样品室
1)左右内径379mm
2)10 mm分析工作距离
3)10个探测器 / 附件接口
4)EDS采集角: 35°
6、样品台
1)X/Y = 150 mm
2)Z = 65 mm
3)Z向间隙93.5mm
4)倾斜:- 5° - + 70°
5)连续旋转360°
6)重复精度: 2 μm (X/Y方向)
7)伪全对中样品台
7、图像处理器
1)zei大6144 x 4096像素
2)图像文件格式:TIFF (8,16 or 24 bit), BMP or JPEG
3)单窗口或四窗口图像显示
4)四活动窗口
5)实时或静态按彩色或按灰度等级信号混合
6)256 帧平均或积分
7)数字动画记录 (.avi格式)
8)直方图及图像测量软件
9)DCFI (漂移补偿积分)
8、支持软件
1)SmartSCAN 智能扫描技术
2)蒙太奇图像导航
3)软件温度控制
4)FEI动画生成工具
除厂家/中国总经销商外,我们找不到 FEI Quanta 650 FEG环境扫描电镜 的一般经销商信息,有可能该产品在中国没有其它经销商。
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