1、射频发生器-标准配置、复合D级标准、稳定性高、溅射束斑极为平坦、等离子体稳定时间极短,表面信息无任何失真。
2、脉冲工作模式既可以分析常规的涂/镀层和薄膜,也可以很好地分析热导性能差和热易碎的涂/镀层和薄膜。
3、Polyscan多道(同时)光谱仪可全谱覆盖,光谱范围从110nm-800nm,可测试远紫外元素C、H、O、N和Cl。
4、HORIBA的原版离子刻蚀全息光栅保证了仪器拥有zei大的光通量,因而拥有卓越的光效率和灵敏度。
5、高动态检测器(HDD)可快速、高灵敏的检测ppm-100%含量的元素。动态范围为5×1010。
6、宽大的样品室方便各类样品的加载。
7、功能强大的Quantum软件可以灵活方便的输出各种格式的检测报告。
8、HORIBA独有的单色仪(选配)可极大地提高仪器灵活性,可实现固定通道外任意一个元素的同步测试,称为n+1。
9、适用于ISO14707和16962标准。
分析通道 | 5~47个 | 分辨率 | 18pm~25pm |
测量深度 | 几纳米~150微米 | 测定精度 | 主元素RSD小于0.4% |
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