HORIBA GD Profiler 2射频辉光放电光谱仪

GD-Profiler 2是一款可进行超快镀层分析的理想工具，非常适合于导体（和/或）非导体复合镀层的分析。可分析70多种元素，其中包括C、H、O、N和Cl。一次测试可轻松获取镀层元素深度分布、镀层厚度、镀层均一性及表面/界面等信息。

GD-Profiler 2可分析几纳米到200微米的深度，深度分辨率小于1纳米。GD-Profiler 2采用了脉冲式射频辉光源，可有效分析热导性能差以及热敏感的样品。此外，还采用了多项zl技术，如高动态检测器（HDD）可测试ppm-100%的浓度范围，zlPolyscan多道扫描的光谱分辨率为18pm~25pm等。主要应用领域包括镀锌钢板、彩涂板、新型半导体材料、LED晶片、硬盘、有机镀层、锂电池、玻璃、陶瓷等等。

技术参数：

1、射频发生器-标准配置、复合D级标准、稳定性高、溅射束斑极为平坦、等离子体稳定时间极短，表面信息无任何失真。

2、脉冲工作模式既可以分析常规的涂/镀层和薄膜，也可以很好地分析热导性能差和热易碎的涂/镀层和薄膜。

3、Polyscan多道（同时）光谱仪可全谱覆盖，光谱范围从110nm-800nm，可测试远紫外元素C、H、O、N和Cl。

4、HORIBA的原版离子刻蚀全息光栅保证了仪器拥有zei大的光通量，因而拥有卓越的光效率和灵敏度。

5、高动态检测器（HDD）可快速、高灵敏的检测ppm-100%含量的元素。动态范围为5×1010。

6、宽大的样品室方便各类样品的加载。

7、功能强大的Quantum软件可以灵活方便的输出各种格式的检测报告。

8、HORIBA独有的单色仪（选配）可极大地提高仪器灵活性，可实现固定通道外任意一个元素的同步测试，称为n+1。

9、适用于ISO14707和16962标准。

更多指标参数请访问HORIBA官网

辉光放电光谱仪是解密镀层工艺、解析镀层结构的强有力手段，可以通过元素变化获得镀层结构、层间扩散、元素富集、表面处理、镀层均一性等信息，从而改善工艺条件等。主要应用行业有金属冶金、半导体器件、LED芯片、薄膜太阳能电池、锂电池阴阳极、光学玻璃、核材料等。

GD-Profiler 2 作为超快镀层分析的理想工具，非常适合于导体和非导体复合镀层的分析，操作简单、便于维护，是镀层材料研发、质控的理想工具。

· 使用脉冲式射频辉光源，可有效分析热导性能差以及热敏感的样品。

·  采用多项zl技术，如高动态检测器（HDD），可测试ppm-100%的浓度范围，zlPolyscan多道扫描的光谱分辨率为18pm~25pm等。

·  分析速度快（2-10nm/s）

技术参数：

1、射频发生器-标准配置、复合D级标准、稳定性高、溅射束斑极为平坦、等离子体稳定时间极短，表面信息无任何失真。

2、脉冲工作模式既可以分析常规的涂/镀层和薄膜，也可以很好地分析热导性能差和热易碎的涂/镀层和薄膜。

3、Polyscan多道（同时）光谱仪可全谱覆盖，光谱范围从110nm-800nm，可测试远紫外元素C、H、O、N和Cl。

4、HORIBA的原版离子刻蚀全息光栅保证了仪器拥有最大的光通量，因而拥有卓越的光效率和灵敏度。

5、高动态检测器（HDD）可快速、高灵敏的检测ppm-100%含量的元素。动态范围为5×10¹⁰。

6、宽大的样品室方便各类样品的加载。

7、功能强大的Quantum软件可以灵活方便的输出各种格式的检测报告。

8、HORIBA独有的单色仪（选配）可极大地提高仪器灵活性，可实现固定通道外任意一个元素的同步测试，称为n+1。

9、适用于ISO14707和16962标准。

更多指标参数请访问HORIBA官网：

www.horiba.com/cn/scientific

概要

 GD-Profiler 2™提供了快速、同时分析所有感兴趣的元素，包括氮、氧、氢和氯。是薄膜描述和工艺研究的理想工具。

配有RF光源，可以在脉冲模式下检测易碎的样品，GD-Profiler 2™的应用范围从对腐蚀的研究到PVD涂层的工艺控制，在大学被广泛用于常规的金属和合金产品的研究。

特征

RF射频发生器- 标准配置，符合E级标准，稳定性高，溅射束斑极为平坦，等离子体稳定时间极短，表面信息无任何失真。

脉冲工作模式既可分析常见的涂、镀层和薄膜，也可以很好的分析热传导性能差和热易碎的涂、镀层和薄膜。

多道(同时)型光学系统可全谱覆盖，光谱范围：110nm至800nm，包含远紫外，可分析C, H, O, N, Cl

HORIBA Jobin Yvon 的原版离子刻蚀全息光栅保证了仪器有最大光通量，因而有最高的光效率和灵敏度

zlHDD® 检测器可进行快速而高灵敏的检测，动态范围达到10个量级

宽大的样品室方便各类样品的加载

功能强大的QUANTUMT XP软件可以多种格式灵活方便的输出检测报告

激光指点器(CenterLite laser pointer，zl申请中)可用于精确加载样品

HORIBA Jobin Yvon独有的单色仪(选配件)可极大的提高仪器的灵活性，可同时测定N+1个元素