【技术参数】
分辨率:3.0nm@ 30KV(SE and W)
4.0nm@ 30KV(VP with BSD)
加速电压:0.2—30KV
放大倍数:5—1000000x
探针电流:0.5PA-5μA
X-射线分析工作距离:8.5mm 35度接收角
低真空压力范围:10—400Pa (LS25:10-3000Pa)
工作室:420mm(φ)×330mm(h)
5轴试样载物台:X=130mm Y=130mm Z=50mm T=-10°- 90°°R=360°
zei大试样高度:210mm,试样zei大直径:300mm
系统控制:基于Windows 7 的SmartSEM操作系统
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扫描电镜SEM
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