分辨率 | 3.0 nm(30 kV)、8 nm(3 kV)、15 nm(1 kV) |
---|---|
低真空模式 *1 | 4.0 nm(30 kV) |
放大倍率 | × 5 ~× 300,000(图像尺寸128 mm × 96 mm) |
预设倍率 | 5档、用户可以设定 |
标准菜单 | 有 |
客户菜单 | 观察条件(照明系统、图像模式、样品室压力*1) 样品台 |
图像模式 | 二次电子像、REF像、成份像*1、形貌像*1、立体像*1 |
加速电压 | 0.5 kV ~ 30 kV |
灯丝 | 工厂预对中 |
电子枪 | 完全自动、手动调整可能 |
聚光镜 | 变焦 |
物镜 | 超级圆锥型物镜 |
物镜光阑 | 3档、带XY微调 |
消象散记忆 | 有 |
图像电位移 | ± 50 μm (工作距离 10 mm) |
自动功能 | 聚焦、亮度/衬度、消象散 |
样品台 | 大型全对中5轴马达驱动 X: 125 mm、Y: 100 mm、Z: 5 mm ~ 80 mm 倾斜: −10°~+90°、旋转: 360° |
参照图像(导航器*3) | 四幅图像 |
样品交换 | 拉出式 |
zei大样品尺寸 | 直径150 mm |
PC | IBM PC/AT 兼容 |
OS | Windows®7 |
显示器 | 19英寸LCD、1台或者2台*2 |
图像存储 | 640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920, 5,120 × 3,340 |
两种实时图像显示 | 有 |
全屏显示 | 有 |
伪彩色 | 有 |
分屏显示 | 两幅图像、四幅图像 |
数字放大显示 | 有 |
双放大倍率 | 有 |
网络 | 以太网 |
测长功能 | 有 |
图像格式 | BMP、TIFF、JPEG |
图像自动保存 | 有 |
真空系统 | 完全自动、DP: 1台、RP: 1或者2台*1 |
真空模式切换*1 | 通过操作菜单、1分钟以内 |
低真空压力*1 | 10 ~ 270 Pa |
JED-2300 EDS*2 | 有(具体规格请参照JED-2300样本型录) |
主要选配件
背散射电子检测器*1
低真空二次电子检测器
能谱仪(EDS)
波谱仪(WDS)
EBSD
气锁式样品室
样品台导航系统
样品室观察系统
操作面板
LaB6电子枪
图像编辑软件(SMile View™)*2
操作台(宽750 mm、宽900 mm)
*1: JSM-6610LA/JSM-6610LV标配
*2: JSM-6610LA/JSM-6610A标配
.高真空模式:3.0 nm at 30 kV;8.0 nm at 3 kV;15.0 nm at1 kV
低真空度:1 to 270Pa,高、低真空切换
全对中样品台:X:80mm Y:40mm T:-10 to +90度 R:360度
加速电压:0.5kV to 30Kv束流1pA—1uA
放大倍数:5 ---- 300,000倍
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