1.分辨率
高真空模式 1.0nm at 15kV
1.8nm at 1kV
0.8nm at 30kV(STEM探测器)
低真空模式 1.5nm at 10kV(Helix探测器)
1.8nm at 3kV(Helix探测器)2. 加速电压 200V - 30kV,连续可调
3. 电子束流范围 0.3pA - 100nA, 连续可调
4. 样品台移动范围
Nova NanoSEM 230: X=Y=50mm
Nova NanoSEM 430: X=Y=100mm
Nova NanoSEM 630: X=Y=150mm
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经销商
除厂家/中国总经销商外,我们找不到 FEI Nova NanoSEM x30超高分辨率场发射扫描电子显微镜 的一般经销商信息,有可能该产品在中国没有其它经销商。
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