日立扫描电镜SEM, 该分析用扫描电子显微镜适合用于研究大件，较重，较高的样品。 最大样品直径达300 mm。 可观察范围直径达203 mm。 可对高达110 mm的样品进行观察和能谱分析。 通用型接口布局满足各种分析用途。