上海-上海 光刻机抗震基座（2404150041）独家采购公示

独家采购公示

一、采购人：信息材料与微纳器件制备平台

二、项目名称：光刻机抗震基座采购

三、采购内容：信息材料与微纳器件制备平台光刻机抗震基座独家采购。

四、采购预算：100,000元

五、独家采购的说明：

本次拟采购的抗震基座为已采购KrF光刻机所需，光刻机设备原厂推荐其国内长期合作供应商协伟集成电路设备（上海）有限公司企业信息制造本次抗震基座，因光刻机抗震要求较高，为保证设备性能及稳定性，故拟定本次光刻机抗震基座向协伟集成电路设备（上海）有限公司企业信息独家采购。

六、拟成交供应商信息：协伟集成电路设备（上海）有限公司企业信息

地址：上海市松江区大港镇港业路50号4栋

七、公示期限：从2024年4月18日至2024年4月24日止。

八、对本次采购提出异议，请按以下方式联系：

对公示内容有异议的，可在公告期内以有效形式提出：

联系人：孙老师

联系方式：0574-8626 1579

联系邮箱：yefeng-sun@ylab.ac.cn

投诉联系人：朱老师

投诉联系方式：0574-8628 1299

投诉联系邮箱：xinfang@ylab.ac.cn