北京 材科院真空等离子体表面处理仪 招标公告

序号

采办包

名称

采购范围与主要技术指标

预计发标时间

（填写到月）

供应商资质基本要求

备注

1

材科院真空等离子体表面处理仪

采购范围：

一套真空等离子体表面处理仪，主要部件包括真空系统（含真空泵、波纹管、KF25卡箍、手动挡板阀等）、供气系统（至少含2路供气/混气系统、质子流量计、电磁阀等）、样品架或样品舟等。详见技术规格书。

主要技术指标：

①射频电源：最大射频功率不低于300w，0-300w之间连续可调；频率：13.56MHz；②真空腔室：容积不低于10L，铝制折叠式法兰真空密封，并有观察窗口。③真空腔室完全屏蔽射频辐射，防射频泄漏。④等离子体腔室：处理有效尺寸不低于180mm。⑤真空系统：旋片式真空泵，真空泵极限压力不低于5.0*10-1Pa；抽气速率不低于4L/s；KF25 的抽真空接口等。

（2024年3月）

成立时间不低于3年，具有两套及以上同类设备业绩。