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浙江大学硅材料国家重点实验室

浙江大学硅材料国家重点实验室

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  在硅烷法制备多晶硅提纯技术、直拉硅单晶生长技术、探测器级高纯硅单晶、硅单晶的电学测量、减压充氮直拉硅单晶技术、微氮直拉硅单晶缺陷基础研究等方面取得了重大成果,曾获国家自然科学二等奖1项(2005年)、国家发明二等奖l项(1989年)、三等奖2项,浙江省重大科技进步贡献奖1项,何梁何利科技奖1项,中国青年科技奖1项,以及省部级科技进步奖10余项。