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东南大学MEMS教育部重点实验室

东南大学MEMS教育部重点实验室

       东南大学 1983 年开始集成传感器的研究,并于 1985 年在欧洲固态电子器件会议《 ESSDERC ¢85 ,Germany, p.88 》报道了集成 MOS 流量传感器的研究结果;1986 年开始了硅片直接键合技术研究,并于1987年在《 Applied Surface Science 30(2),397(1987)》报道了硅键合材料的测试结果;1987 年开始了微传感器 CAD 研究,并于 1988 年在《 Solid State Electronics,31(2),237(1988)》报道了MOS磁电耦合的计算机模拟结果。由于国际上MEMS的出现,实验室于1989 年申请、1990年获准国家自然科学基金项目“微机械加工静电式微电机的研究”(批准号:80075220),并于1991年在《 Transducers'91,p.894,USA》上报道了基于气体润滑的微马达研究结果。九十年代,实验室MEMS研究得到了快速发展,出版了国内MEMS专著《硅微机械加工技术,科学出版社,1996年1月》、与美国DUKE 大学合作出版了国际上第一本键合技术专著《Semiconductor wafer bonding,John Wiley Sons,1998》。

     MEMS是一门新兴的交叉学科,为适应这种发展和需求,东南大学以电子科学与工程学院的《微电子学与固体电子学》学科为主题、结合工程力学系和机械工程学院相关课题组,组建了跨学科的研究结构,于1999年申请建立教育部重点实验室。实验室2000年6月通过教育部可行性论证、2001年9月通过教育部验收、2002年11月通过教育部评估。

     实验室聘请了一批国内知名专家组成了学术委员会;现有教授7人(其中博士生导师4人)、副教授9人,每年招收硕士生30名左右、博士生10名左右;实验室具有国际先进水平的设计研究基础设施,较好的加工和测试仪器设备;实验室同时又是国家 “211” 工程、 “985” 工程重点建设部门;目前承担了国家973项目、863项目、国家自然科学基金重点项目、总装备部、教育部、地方政府等重大 / 重点科技研究与开发项目。