东南大学MEMS教育部重点实验室
400-6699-117转1000
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序号
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课题名称（课题编号）
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课题来源
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时间
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1.
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跨微纳尺度的传感器理论模型与仿真(2006CB300404) |
973
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2006-2010
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2.
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MEMS系统级设计方法及与IC设计接口研究 （2006AA04Z302） |
863
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2006-2008
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3.
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面向安全检测的温度、湿度微传感器 |
863
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2006-2008
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4.
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MEMS加工工艺仿真系统 (2007AA04Z342) |
863
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2007-2010
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5.
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硅微纳梁力电耦合多尺度模型与模拟 (2007AA04Z301) |
863
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2007-2010
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6.
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基于CMOS后处理的MEMS集成制造技术研究(2007AA04Z306) |
863
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2007-2010
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7.
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MEMS结构可靠性评估方法及测试的研究(2007AA04Z320) |
863
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2007-2010
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8.
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在线式MEMS微波功率传感器及其集成检测系统研究(2007AA04Z328) |
863
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2007-2010
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9.
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多功能单片集成传感微系统设计方法及相关技术基础（90607002） |
国家自然基金
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2006-2008
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10.
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计算机辅助制造（50325519） |
国家自然基金 |
2004-2007
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11.
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单片集成风速计和气压计优化设计理论和封装技术研究（60476019） |
国家自然基金
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2004-2007
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12.
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在线式微波功率传感器设计理论与实现方法（60676043） |
国家自然基金
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2007-2009
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13.
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单片集成MEMS风速计和气压计的优化理论和封装技术研究（60476019） |
国家自然基金
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2005-2007
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14.
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球形玻璃微腔用于MEMS的封装基础研究 （50775038） |
国家自然基金
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2008-2010
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15.
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教育部新世纪优秀人才计划 |
教育部
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2008-2010
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