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东南大学MEMS教育部重点实验室

东南大学MEMS教育部重点实验室

400-6699-117转1000

管理机构
   
      运行机构
 
 
  主任: 黄庆安    

 MEMS CAD 研究室

 
 
副主任: 秦明      CMOS MEMS 研究室  
  何小元      RF MEMS 研究室  
  孙立涛      MEMS 封装与可靠性研究室  
         NEMS 研究室  
         微纳结构动态测试研究室  
         微纳转热及相关器件研究室  

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