分享至
上海纳米级等离子工艺研讨会预告
上海纳米级等离子工艺研讨会预告 2012年3月19日
本次研讨会将于Semicon2012开幕的前一天召开，我们在此诚意邀请工业界、学术界对微纳米及发光二极管等离子技术的发展趋势及设备制造与应用感兴趣的同行先进参加。
牛津仪器的外方应用专家及国内知名机构的用户将出席并发言。
本次研讨会主题如下:
• 原子层沉积系统的发展与应用
• 离子束刻蚀和沉积的发展与应用
• 硅深刻蚀工艺
• 氮化镓的深刻蚀加工工艺
• 微纳米制造及硅场电子发射体特征
• 更多主题正在进一步确认…
发言结束后，我们会安排充足的讨论和交流时间。
关于牛津
牛津仪器公司于1959年创建于英国牛津，现已成为世界领先的科学仪器跨国集团公司，是光谱仪、测厚仪、能谱仪、等离子设备、超导超低温产品、核磁共振仪、低温泵压缩机、X射线管等方面的专家，拥有分布于英国、美国、芬兰、丹麦、德国和中国的十几个工厂以及遍及全球的分公司或办事处。
具体产品信息请参见牛津仪器公司中文网站及英文网站：www.oichina.cn www.oxinst.com
牛津仪器(上海)有限公司 电话: (021) 64908280 传真: (021) 64904042
牛津仪器(上海)有限公司上海办事处 电话: (021) 60732929 传真: (021) 60732949
牛津仪器(上海)有限公司北京办事处 电话: (010) 65188160 传真: (010) 65188155
牛津仪器(上海)有限公司广州办事处 电话: (020) 83649990 传真: (020) 83649996
牛津仪器(上海)有限公司成都办事处 电话: (028) 86703596 传真: (028) 86703595
