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天津研制“纳米测量标准器”获国家ZL

2012.7.02

  天津检验检疫局课题组研制的“纳米尺度测量标准器”近日获得国家实用新型ZL授权。该项目可让纳米尺度测量更准确,避免了日常因测量结果不准确而产生的复检、争议等问题,从而填补纳米材料领域标准器的国内空白。

  随着纳米科技飞速发展,用于测量纳米尺度的高分辨率测量器具一直是人们关注的课题,为了得到更准确的测量结果,需要有一个更接近于样品尺度的标准物质―― “纳米标准器”。为此,天津检验检疫局化矿金属材料检测中心课题组经过两年的研发,通过精选纳米标准器材质,采用先进的聚焦离子束刻蚀技术,研制成功一种新型的用于扫描电镜纳米尺度测量的纳米标准器。

  据课题组傅志强介绍,该纳米标准器总体而言,具有分辨率高、线距均匀、材料稳定、设计独特等特点。例如,标准器具有78纳米的标准周期线距,远小于目前公认的S1000标准器的线距1000纳米(1微米),是真正意义上的纳米级标准器;每个刻度周期线距的均匀性和一致性,可使得最小线距整数倍的距离都可以作为标准长度来比对;材料膨胀系数低、性能稳定;设计独特,将横线、竖线、点阵和圆环形状的标准刻度于一体,可以满足不同形状样品的比对测量需求,从而解决了纳米尺度更准确的测量问题,对国内纳米行业的发展将起到很大的促进作用。

  据介绍,该标准器在检验检疫部门实际工作中,可用于纳米级金属粉末、金属氧化物、碳纳米材料等的扫描电镜长度测量,相比于传统的手段,在操作方面有体积小巧、定位容易、刻度清晰等优势,可增加扫描电镜长度测量精确度10%,避免了日常因测量结果不准确而产生的复检、争议等问题,具有较强的实际应用水平。

  记者了解到,该标准器目前已经开始应用于天津检验检疫局实验室扫描电镜测量纳米材料尺度的检测实际工作中。

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