中国科学院院士,分析化学、半导体化学家,上海交通大学微纳科学技术研究院研究员沈天慧,因病于2011年1月2日凌晨2时55分在上海逝世,享年88岁。沈天慧院士遗愿希望丧事从简,不举行告别仪式。

  沈天慧1923年出生于浙江嘉善,1945年进入大同大学化工系就读,以优异的成绩毕业。

  新中国成立后,沈天慧进入中国科学院化学研究所工作。1954年,沈天慧被选派到中科院沈阳金属研究所工作,参加对我国新发现的包头白云鄂博稀土铁矿的分析,在稀土铁矿全分析方法上做出了贡献。1957年,沈天慧被派往苏联莫斯科冶金研究所进修半导体硅和化合物半导体的研制。经过2年的学习后回国,在长春应用化学研究所建立了我国第一个三氯氢硅法制备高纯硅小组,研制出我国第一批用该法制成的半导体高纯硅,开创了中国人自己研制高纯硅的历史。

  1966年,沈天慧调到中科院156工程处(北京),1970年迁至陕西临潼县航天工业部771研究所,在以后的近10年里,沈天慧一直从事硅材料器件的研制工作,开辟了磁叠片存储器和玻璃半导体记忆材料的研究领域,为大规模集成电路的工艺研究做出了探索性和开创性的工作。