自2010年1月20日起至2010年11月29日，中国科学院微电子研究所共发布十三批仪器设备采购项目招标公告，价值过亿。
2011年1月19日，中国政府采购网再次公布了中国科学院微电子研究所十一批和十三批的部分仪器采购结果，这两批仪器价值6777万元。具体内容如下：
采购人名称：中国科学院微电子研究所
采购代理机构全称：东方国际招标有限责任公司
招标编号：OITC-G10032233
采购项目名称：中国科学院微电子研究所2010年仪器设备采购项目(第十一批)
第5包 等离子氮化系统、等离子化学增强气相淀积、硅化物热退火系统、接触与互连溅射台、快速热退火系统、钨化学气相沉积系统
成交金额：983万美元
成交供应商名称：Applied Materials South East Asia Pte. Ltd.
评标委员会成员名单：熊少祥、段玉生、郝爱芳、李振声、朱慧珑