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牛津仪器与著名的台湾工业技术研究院合作

2011.2.15

　　牛津仪器公司和台湾工业技术研究院很高兴地宣布刚刚签署的项目研究合作协议。该协议是基于牛津仪器公司向工业技术研究院提供一个HBLED相关程序研究中心，并配备自己的程序工程师。这将让工业技术研究院和牛津仪器在远东地区的广大客户受益。工业技术研究院是一个跨多个工业技术领域的应用研究机构，自1973年成立以来，工业技术研究院为了提高国内工业技术，一直致力于工业研发。

　　作为在蚀刻、沉积和生长系统的领先者，牛津仪器很快将会为工业技术研究院在最先进的无尘室里安装更多的设备。牛津仪器的程序工程师将使用这些和研究所已选定的设备做演示，并为远东客户的设备性能提供支持。

　　这将更有效地扩大牛津仪器的研究能力，使得牛津仪器具有更广泛的方法，更有效率地为亚洲客户服务。牛津仪器已经在工业技术研究院安装了多个设备，包括PlasmaPro System100多群集系统结合PECVD反应室、RIE反应离子刻蚀和ALD原子层沉积，PlasmaPro System100 ICP380等离子蚀刻工具和PlasmaPro System80Plus PECVD等离子体增强沉积设备，所有这些设备已被用于推进研究。

　　PlasmaPro NGP1000 PECVD，一PlasmaProâ NGPâ1000蚀刻，以及PlasmaPro System133 ICP380和附件，这三种设备已安装在专用的牛津仪器光电实验室，为下一个阶段做准备。

　　工业技术研究院副院长Shing-Yuan Tsai博士评论："在材料化学技术和纳米技术领域，工业技术研究院与台湾及世界各地的著名企业合作，发展和促进高增值产业的建立和纳米技术应用于传统产业。我们和牛津仪器的合作清楚地表明，我们的研究水平和设备是世界一流的，两个机构间合作是互利的。"

　　牛津仪器等离子技术部亚洲区销售总监Jeffrey Seah非常认可此项合作，他说："牛津仪器公司作为蚀刻、沉积及生长设备的世界领先者，和工业技术研究院已建立合作关系，成功地为工业技术研究院无尘室安装了先进设备。牛津仪器公司的主要目标之一是追求负责任地发展和通过科技更深入地了解世界，此次与如此著名的研究机构合作项目正是为实现这一目标。"