氦质谱检漏仪的氦质谱检漏仪的质谱检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用,这种方法的优点是:检漏灵敏度高,可以检漏到10-11Pam3/s 数量级,仪器响应快,氦分子在仪器高真空的环境中扩散的速度很高；所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、卫星、飞机等这些都要用到真空检漏技术。在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题，同样在导弹武器装备中也离不开检漏,导弹弹体、燃料储备罐、燃料运输管道、弹头、特殊部件的密封性都要用到核质谱检漏仪。

　　氦质谱检漏仪运用行业的发展

　　（1）电力行业SF6高压开关与氧化锌避雷器是发电厂及旷野输变电的必要构成一部分，时时因透露造成大面积或局部停电，影响家打造生产，又故障人们的正常生活生计。因此带来的经济流失无意是难以估计的。

　　①低压开关在连箱是铝铸件，经常简单有砂眼，且漏孔组织芜杂，不易清洗。一般采纳检漏盒或氦罩法，即把被检件抽真空，尔后向罩内充入氦气，等候定然工夫，必然总漏率的大小。因氦气的用量小，检测灵敏度就高。

　　②腐蚀锌避雷器，是依照电压高低申请，采用差别截面积、不合厚度和一致数量的侵蚀锌片，装在瓷套中，充入氮气后密封。其任务情理是在高压输出中如遇雷击，侵蚀锌片电阻变小，大电流对地短路，输电旅程被珍爱。假设透露造成表里不有压差，内部潮湿气体有大概进入，而破不好腐蚀锌片共性，造成爆炸。

　　③电力行业中，电厂的检漏、低压变压器、低压电容器、低压开关管及其他元器件也都响应的采纳氦质谱检谱检漏仪，用一致法子进行检漏。

　　（2）电子行业微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、心脏起博器。

　　（3）真空行业，仪器、仪表行业管道、探讨、阀门、涟漪管、各类真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速曝光机、激光轴会萃器、高能加速器、医用加快器、辐照加快器、镀膜机、薄膜真空计,盐雾试验箱。

　　（4）核出产业铀云散摆设、存储摆设、核发电摆设。

　　（5）制冷行业冰箱、空调、溴化锂制冷机组、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。

　　（6）不锈钢保温器皿真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。