有哪几种电子衍射
1）电子显微镜中主要有SAED选区电子衍射、μ-衍射、纳米衍射、CBED会聚束衍射、EBSD背散射电子衍射五种电子衍射。 2）操作特点： ①SAED选区电子衍射采用TEM模式，利用μ级平行入射电子束照射试样，通过物镜像平面处的选区光阑选取特定区域做电子衍射，得到与选择区域对应的电子衍射花样。 ②μ-衍射采用STEM模式，利用μ级针状入射电子束照射试样的固定区域，无需光阑选择成像区域，因此不存在选区衍射误差。 ③纳米衍射与μ-衍射类似，主要差别在于纳米衍射的入射电子束为纳米级，体积更细小，因此能够对试样的更微小区域进行分析。 ④CBED会聚束衍射采用STEM模式，入射束由平行束变为锥状会聚束，并且后焦面处得到扩展的衍射斑点（圆盘状），盘的大小与入射束的会聚角有关。因此伴随着会聚角的变化，能够获得散射电子的信息，实验过程中要避免透射盘与衍射盘相交。 ⑤EBSD背散射电子衍射是入射束打到试样上形成的背散射电子发生衍射，形成衍射锥，最终获得EBSD衍射花样。
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